[发明专利]薄膜沉积用掩膜拉伸焊接装置

权利要求书

1.一种薄膜沉积用掩膜拉伸焊接装置，其在框架上拉伸并焊接掩膜，其特征在于，包括：

拉伸部，将所述掩膜沿一个方向拉伸；

加压部，具备外壳、和在所述外壳的一个面上以相对于所述掩膜倾斜的方向凸出而沿着所述方向对所述掩膜进行加压的多个刷子；以及

激光焊接部，焊接所述掩膜和所述框架，

其中所述外壳包括与所述掩膜的两端部接触的第一面、和与所述掩膜的两端部不接触的第二面，

所述多个刷子从所述第二面凸出，在相对于所述掩膜的两端部倾斜的状态下对所述掩膜的两端部进行加压。

2.如权利要求1所述的薄膜沉积用掩膜拉伸焊接装置，其特征在于，

所述多个刷子的截面是圆、椭圆、以及多边形中的一种以上。

3.如权利要求1所述的薄膜沉积用掩膜拉伸焊接装置，其特征在于，

所述多个刷子以所述外壳与所述掩膜的两端部相接触的面为基准而向所述掩膜的内侧方向凸出。

4.如权利要求1所述的薄膜沉积用掩膜拉伸焊接装置，其特征在于，

所述多个刷子以所述外壳与所述掩膜的两端部相接触的面为基准而向所述掩膜的外侧方向凸出。

5.如权利要求1所述的薄膜沉积用掩膜拉伸焊接装置，其特征在于，

所述第二面倾斜。

6.如权利要求1所述的薄膜沉积用掩膜拉伸焊接装置，其特征在于，

加压部包括第一加压部和第二加压部，

所述第一加压部包括第一外壳、和在所述第一外壳的一个面上以朝向所述掩膜的方向凸出而对所述掩膜进行加压的多个第一刷子，

所述第二加压部包括第二外壳、和在所述第二外壳的一个面上以朝向所述掩膜的方向凸出而对所述掩膜进行加压的多个第二刷子。

7.如权利要求6所述的薄膜沉积用掩膜拉伸焊接装置，其特征在于，

所述第一加压部的所述多个第一刷子以所述第一外壳与所述掩膜的两端部相接触的面为基准而向所述掩膜的内侧方向凸出，所述第二加压部的所述多个第二刷子以所述第二外壳与所述掩膜的两端部相接触的面为基准而向所述掩膜的内侧方向凸出。

8.如权利要求6所述的薄膜沉积用掩膜拉伸焊接装置，其特征在于，

所述第一加压部的所述多个第一刷子以所述第一外壳与所述掩膜的两端部相接触的面为基准而向所述掩膜的外侧方向凸出，所述第二加压部的所述多个第二刷子以所述第二外壳与所述掩膜的两端部相接触的面为基准而向所述掩膜的外侧方向凸出。

9.如权利要求6所述的薄膜沉积用掩膜拉伸焊接装置，其特征在于，

所述第一加压部的所述多个第一刷子以所述第一外壳与所述掩膜的两端部相接触的面为基准而向所述掩膜的内侧方向凸出，

所述第二加压部的所述多个第二刷子以所述第二外壳与所述掩膜的两端部相接触的面为基准而向所述掩膜的外侧方向凸出。