[发明专利]颗粒物传感器及其测量方法

权利要求书

1.一种测量颗粒物的方法，包括以下步骤：

通过基准电极测量第一电容值；

通过主电极测量第二电容值；

通过信号处理器接收所述第一电容值和所述第二电容值；以及

通过使用输入至所述信号处理器的所述第一电容值和第二电容值生成最终输出电压，

其中，生成最终输出电压的步骤包括：

通过使用所述第一电容值的第一电容变化值、因噪声引起的电容值和施加电压来生成第一输出电压；

通过使用所述第二电容值的第二电容变化值、因噪声引起的电容值和施加电压来生成第二输出电压；以及

根据所述第一输出电压与所述第二输出电压之间的差值来生成最终输出电压。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，在通过主电极测量第二电容值的步骤中，所述第二电容值随累积到在主电极上形成的绝缘层的颗粒物而改变。

3.根据权利要求1所述的方法，还包括以下步骤：

通过位于所述基准电极与所述主电极之间的加热电极燃烧在所述主电极上的绝缘层累积的颗粒物。