[发明专利]MEMS显示器

权利要求书

1.一种显示器，包括：

多个调制器，每个调制器包括具有光透射区和光阻挡区的遮光板、具有光输入表面、光出射表面和多个嵌入式凹形光反射器的基底，所述嵌入式凹形光反射器位于所述基底的所述光输入表面和所述光出射表面之间，

光波导，所述光波导经由光层光学地耦合到所述基底的所述光输入表面，所述光层具有比所述光波导的折射率小的折射率，

其中所述嵌入式凹形光反射器用于增加显示器的视角并减小在接通位置和断开位置之间的遮光板的移动距离，当所述遮光板在所述接通位置上时从所述基底发射的光透射穿过所述遮光板的光透射区，并当所述遮光板在所述断开位置上时从所述基底发射的光被所述遮光板的光阻挡区阻挡，并且

其中来自所述光波导的从所述基底的所述光输入表面进入的光射线在内部从所述基底的所述光出射表面反射，并且所述嵌入式凹形光反射器中的每一个嵌入式凹形光反射器使在内部从所述基底的所述光出射表面反射的光射线从所述基底的所述光出射表面离开所述基底并会聚在所述遮光板的相应的光透射区处。

2.如权利要求1所述的显示器，还包括具有多个光透射区的光吸收层，其中穿过所述遮光板的所述光透射区透射的光透射穿过所述光吸收层的相应的光透射区。

3.如权利要求1所述的显示器，其中所述嵌入式凹形光反射器具有弯曲表面，所述弯曲表面具有值在20微米到80微米之间的曲率半径。

4.如权利要求1所述的显示器，其中所述遮光板具有第一端和第二端，所述遮光板使用附接在所述第一端处的多个支持架和附接在所述第二端处的多个支持架被支承在所述基底的所述光出射表面之上，附接在所述第一端处的支持架相对于附接在所述第二端处的支持架倾斜，并且附接在所述第一端和第二端处的所述支持架相对于所述基底的所述光出射表面倾斜，以及所述多个调制器各自包括第一静电致动器和第二静电致动器，其中所述第一静电致动器将力施加到所述遮光板并将附接在所述第一端处的支持架拉到相对于所述基底的所述光出射表面几乎直立的位置并将所述遮光板移动到第一位置，所述第二静电致动器将力施加到所述遮光板并将附接在所述第二端处的支持架拉到相对于所述基底的所述光出射表面几乎直立的位置并将所述遮光板移动到第二位置。

5.如权利要求1所述的显示器，其中所述遮光板使用位于所述遮光板和所述基底的所述光出射表面之间的多个悬臂梁被支承在所述基底的所述光出射表面之上，并且所述悬臂梁的纵向方向被定位成实质上平行于所述基底的所述光出射表面，并且每个所述悬臂梁的第二端使用第一接线柱附接到所述遮光板以用于将所述悬臂梁与所述遮光板间隔开第二间隙，并且每个所述悬臂梁的第一端使用第二接线柱附接到所述基底的所述光出射表面以用于将所述悬臂梁与所述基底的所述光出射表面间隔开第一间隙。

6.如权利要求1所述的显示器，其中所述遮光板具有第一端和第二端，所述遮光板使用附接在所述第一端和所述第二端处的多个悬臂梁被支承在所述基底的所述光出射表面之上，并且所述悬臂梁的纵向方向被定位成实质上平行于所述基底的所述光出射表面，其中附接在所述第一端处的所述悬臂梁的纵向方向是实质上笔直的，而附接在所述第二端处的所述悬臂梁的纵向方向是弯曲的。

7.如权利要求1所述的显示器，其中所述遮光板使用附接在所述遮光板的第一端处的多个悬臂梁和附接在所述遮光板的第二端处的多个悬臂梁被支承在所述基底的所述光出射表面之上，并且所述悬臂梁的纵向方向被定位成实质上平行于所述基底的所述光出射表面，所述遮光板还包括从所述遮光板的第一端延伸并且与附接到所述基底的所述光出射表面的固定电极形成静电致动器的法兰，并且其中所述静电致动器将力施加到所述法兰并将附接在所述遮光板的所述第一端处的所述悬臂梁中的每一个悬臂梁从相对于所述法兰的表面的倾斜位置拉到相对于所述法兰的所述表面的几乎法线位置，并将所述遮光板从机械中性位置移动到相对于所施加的力的横向位置。

8.如权利要求1所述的显示器，其中每个所述调制器还包括致动器，所述致动器将第一力施加到所述遮光板并实质上在相对于所述第一力的横向方向上在实质上平行于所述基底的所述光出射表面的平面中移动所述遮光板。