[发明专利]半导体装置有效
| 申请号: | 201610219710.2 | 申请日: | 2010-03-29 |
| 公开(公告)号: | CN105789221B | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
| 发明(设计)人: | 山崎舜平;阿部贵征;宍户英明 | 申请(专利权)人: | 株式会社半导体能源研究所 |
| 主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L29/786 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 姜冰;付曼 |
| 地址: | 日本神奈*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
1.一种半导体装置,包括:
绝缘表面之上的第一栅电极;
所述第一栅电极之上的栅绝缘层;
所述栅绝缘层之上的氧化物半导体层;
所述氧化物半导体层之上的源电极层和漏电极层;
所述氧化物半导体层和所述源电极层和所述漏电极层之上的树脂层;
所述树脂层之上的绝缘层;以及
所述绝缘层之上的第二栅电极,
其中所述绝缘层包括从氮化硅、氧氮化硅和氮化氧化硅所组成的组中选择的一个化合物。
2.一种半导体装置,包括:
绝缘表面之上的第一栅电极;
所述第一栅电极之上的栅绝缘层;
所述栅绝缘层之上的氧化物半导体层;
所述氧化物半导体层之上的源电极层和漏电极层;
所述氧化物半导体层和所述源电极层和所述漏电极层之上的树脂层;
所述树脂层之上的绝缘层;以及
所述绝缘层之上的第二栅电极,
其中所述绝缘层包括从氮化硅、氧氮化硅和氮化氧化硅所组成的组中选择的一个化合物,以及
其中在所述氧化物半导体层的沟道宽度方向上,所述第一栅电极和所述第二栅电极超出所述氧化物半导体层的侧边缘而延伸。
3.根据权利要求1或2的半导体装置,还包括:
在所述氧化物半导体层和所述源电极层之间的第一缓冲层,以及
在所述氧化物半导体层和所述漏电极层之间的第二缓冲层。
4.根据权利要求3的半导体装置,还包括:
电连接到所述源电极层或所述漏电极层的阴极;
所述阴极之上的发光层;以及
所述发光层之上的阳极。
5.根据权利要求1或2的半导体装置,其中所述第二栅电极与所述氧化物半导体层和所述第一栅电极重叠。
6.根据权利要求1或2的半导体装置,其中在所述氧化物半导体层的沟道长度方向上,所述第二栅电极的宽度大于所述第一栅电极的宽度。
7.根据权利要求1或2的半导体装置,其中在所述氧化物半导体层的沟道长度方向上,所述第二栅电极的宽度大于所述氧化物半导体层的宽度。
8.根据权利要求1或2的半导体装置,其中所述第二栅电极处于浮动状态。
9.根据权利要求1或2的半导体装置,其中所述第二栅电极是0V的固定电位。
10.根据权利要求1或2的半导体装置,其中所述第一栅电极和所述第二栅电极具有相同的电位。
11.根据权利要求1或2的半导体装置,其中所述第二栅电极电连接到所述第一栅电极。
12.根据权利要求1或2的半导体装置,
其中所述源电极层和所述漏电极层之一与所述氧化物半导体层和所述第二栅电极直接接触。
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H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





