[发明专利]一种全息散斑结构有机发光二极管制作方法

说明书

技术领域

本发明涉及有机发光二极管技术领域，更具体地说，涉及一种全息散斑结构有机发光二极管制作方法。

背景技术

有机发光二极管因为主动发光、低功耗、全固态、发光亮度高、色彩丰富、易于实现柔性显示等诸多优点，被认为是继CRT、LCD之后的最具发展前景的下一代照明和显示技术，并已在商业产品应用中表现出了强劲的发展势头。

然而，尽管有机发光二极管的内发光效率已经接近100%，但是由于器件各功能层的折射率不匹配，造成发光层发出的光子大部分仍然陷在器件内部被损失掉，只有20%的光能能够出射。而且器件出光角度随机。因此，设法改进器件结构，定向提高器件的发光效率具有重要意义。

近年来，通过在有机发光二极管内引入微纳结构，改进器件结构，从而提高发光效率的研究已经取得了很好的发展，如：纳米光栅结构(《Solving Efficiency–Stability Tradeoff in Top‐Emitting Organic Light‐Emitting Devices by Employing Periodically Corrugated Metallic Cathode》(Advanced Materials, 2012, 24(9): 1187-1191)，中国发明专利：公开号CN102484209A)、随机褶皱结构(《Light extraction from organic light-emitting diodes enhanced by spontaneously formed buckles》(Nature Photonics, 2010, 4(4): 222-226) )、基底仿生蛾眼结构(《Simultaneous efficiency enhancement and self-cleaning effect of white organic light-emitting devices by flexible antireflective films》(Optics letters, 2011, 36(14): 2635-2637) )、光提取膜(中国发明专利：公开号为CN102844904A)等。从上述文献和专利可以看出，通过改善器件结构可以有效提高有机发光二极管的发光效率。然而，周期性光栅结构容易造成色散和谱带漂移；随机褶皱制备工艺复杂、可控性和可重复性较差，纳米蛾眼结构槽深较难控制、易造成漏电流增加。更为重要的，上述方案均不能实现定向发光效率增强，而定向发光效率增强可实现定向对比度增强，而定向对比度增强对于在强光环境下显示显得尤为重要，如手机在太阳光环境下，视角范围内对比度的增强会使屏幕显示更加清晰鲜艳。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的是针对上述现有技术不足，提出一种散斑结构有机发光二极管制作方法，可以定向提高有机发光二极管的发光效率，而且不会引起暗电流增加，并有效改善器件在不同视角下的色散和光谱漂移。

为了实现上述目的，本发明提供一种散斑结构有机发光二极管制作方法，包括步骤：

S1) 通过全息光刻技术曝光形成散斑像面全息干涉条纹；

S2）通过显影、自然风干获得散斑像面全息结构；

S3) 在散斑像面全息结构上制作第一电极层，厚度为30～180 nm；

S4) 通过热蒸发在第一电极层上形成有机层和背电极；

S5) 器件封装成型。

优选的，所述的全息光刻技术曝光形成散斑像面全息干涉条纹，包括步骤：

1）波长为441 nm激光器发出激光光束，激光光束通过分束器分为两路；

2）一路经扩束器扩束后，再经透镜准直后，照射毛玻璃形成随机散斑物光，散斑物光再经过成像透镜组成像在光刻胶上；

3）另一路经经扩束器扩束后，再经透镜准直后，作为参考光，照射在光刻胶上；

4）散斑物光和参考光夹角在30度～60度，干涉10～60秒后，关闭激光器，在光刻胶上曝光形成散斑像面全息干涉条纹。

优选的，所述的光刻胶均匀涂布在基底上，光刻胶厚度为500 nm～2 μm。

优选的，所述的光刻胶基底, 材质可为硬质材料，如石英、玻璃、硅片等；也可为柔性材质，如：聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯和聚氯乙烯等。

优选的，所述的显影是指将曝光的光刻胶连同基底放入到体积分数为0.8%～1.5%的NaOH溶液中，显影时间为7～15秒，光刻胶散斑干涉条纹槽深为40 nm～300 nm。