[发明专利]一种化学镀铜剂及其制备方法有效
| 申请号: | 201610131545.5 | 申请日: | 2016-03-09 |
| 公开(公告)号: | CN105779980B | 公开(公告)日: | 2018-04-20 |
| 发明(设计)人: | 卢瑞华 | 申请(专利权)人: | 昆山艾森半导体材料有限公司 |
| 主分类号: | C23C18/40 | 分类号: | C23C18/40 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 化学 镀铜 及其 制备 方法 | ||
1.一种化学镀铜剂,其特征在于:由EDTA-2Na、硫酸铜、氢氧化钠、EDTP、甲醛、甲醇、己二酸、丁二酸以及去离子水组成,其各组分含量为:EDTA-2Na0.03-0.04%、硫酸铜0.005-0.007%、氢氧化钠0.003-0.007%、EDTP0.002-0.005%、甲醛0.002-0.004%、甲醇0.003-0.005%、己二酸0.01-0.05%、丁二酸0.005-0.01%,其余为去离子水。
2.一种权利要求1所述的化学镀铜剂的制备方法,其特征在于包括以下步骤:
①在容器中加入30%的去离子水;
②搅拌的情况下,按配比加入EDTA-2Na,搅拌25-30分钟;
③搅拌的情况下,按配比加入硫酸铜,继续搅拌25-30分钟;
④搅拌的情况下,按配比加入氢氧化钠,继续搅拌25-30分钟;
⑤搅拌的情况下,按配比加入EDTP,继续搅拌25-30分钟;
⑥搅拌的情况下,按配比加入甲醛、甲醇、己二酸和丁二酸,继续搅拌25-30分钟;
⑦补水至所需量,完成后搅拌均匀。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理





