[发明专利]一种化学镀铜剂及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201610131545.5 申请日: 2016-03-09
公开(公告)号: CN105779980B 公开(公告)日: 2018-04-20
发明(设计)人: 卢瑞华 申请(专利权)人: 昆山艾森半导体材料有限公司
主分类号: C23C18/40 分类号: C23C18/40
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 化学 镀铜 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种化学镀铜剂,其特征在于:由EDTA-2Na、硫酸铜、氢氧化钠、EDTP、甲醛、甲醇、己二酸、丁二酸以及去离子水组成,其各组分含量为:EDTA-2Na0.03-0.04%、硫酸铜0.005-0.007%、氢氧化钠0.003-0.007%、EDTP0.002-0.005%、甲醛0.002-0.004%、甲醇0.003-0.005%、己二酸0.01-0.05%、丁二酸0.005-0.01%,其余为去离子水。

2.一种权利要求1所述的化学镀铜剂的制备方法,其特征在于包括以下步骤:

①在容器中加入30%的去离子水;

②搅拌的情况下,按配比加入EDTA-2Na,搅拌25-30分钟;

③搅拌的情况下,按配比加入硫酸铜,继续搅拌25-30分钟;

④搅拌的情况下,按配比加入氢氧化钠,继续搅拌25-30分钟;

⑤搅拌的情况下,按配比加入EDTP,继续搅拌25-30分钟;

⑥搅拌的情况下,按配比加入甲醛、甲醇、己二酸和丁二酸,继续搅拌25-30分钟;

⑦补水至所需量,完成后搅拌均匀。

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