[发明专利]数显式迈克尔逊干涉仪自动化测量系统及方法

权利要求书

1.数显式迈克尔逊干涉仪自动化测量系统，其特征在于：包括微调手轮驱动装置、干涉环测量装置、控制数显主机、迈克尔逊干涉仪以及干涉条纹观测屏；所述微调手轮驱动装置将迈克尔逊干涉仪的微调手轮卡住，带动微调手轮同步转动，使迈克尔逊干涉仪的动镜前进或后退；所述干涉环测量装置设置在干涉条纹观测屏上，并与微调手轮驱动装置连接；所述控制数显主机与微调手轮驱动装置连接；

所述干涉环测量装置包括第二壳体、光敏元件、信号处理电路板、传输接口和状态指示LED灯，所述光敏元件设置在第二壳体的一侧，并对准干涉条纹观测屏；所述状态指示LED灯设置在第二壳体的另一侧；所述信号处理电路板设置在第二壳体内，并与光敏元件和状态指示LED灯连接；所述传输接口设置在第二壳体上，该传输接口与信号处理电路板连接，并通过数据线与微调手轮驱动装置的SATA串口连接，信号处理电路板上设有直流隔离电路、放大电路、低通滤波电路、滞回比较器和微处理器，所述光敏元件采用光敏三极管或光敏二极管。

2.根据权利要求1所述的数显式迈克尔逊干涉仪自动化测量系统，其特征在于：所述微调手轮驱动装置包括第一壳体、驱动电路板、驱动组件、卡座、卡口、九针串口和SATA串口，所述卡座安装在第一壳体上，将微调手轮驱动装置固定在迈克尔逊干涉仪上；所述驱动电路板、驱动组件和卡口设置在第一壳体内，所述驱动电路板与驱动组件连接，所述驱动组件与迈克尔逊干涉仪的微调手轮连接，所述卡口将迈克尔逊干涉仪的微调手轮卡住；所述九针串口和SATA串口设置在第一壳体上，并与驱动电路板连接，所述九针串口通过数据线与控制数显主机连接，所述SATA串口通过数据线与干涉环测量装置连接。

3.根据权利要求2所述的数显式迈克尔逊干涉仪自动化测量系统，其特征在于：所述驱动组件包括直流电机、减速齿轮组、同步轮、同步皮带、连接器和编码器，所述直流电机和减速齿轮组安装在橡胶基座上，所述直流电机与驱动电路板连接，直流电机的电机轴与减速齿轮组连接，所述减速齿轮组与同步轮相啮合，所述同步轮通过同步皮带与连接器连接，所述连接器与迈克尔逊干涉仪的微调手轮连接，所述卡口设置在连接器上，所述编码器与连接器连接。

4.根据权利要求3所述的数显式迈克尔逊干涉仪自动化测量系统，其特征在于：所述编码器采用大于或等于1000P/R的编码器。

5.根据权利要求2所述的数显式迈克尔逊干涉仪自动化测量系统，其特征在于：所述控制数显主机包括第三壳体、控制显示电路板、液晶显示屏和输入键盘，所述控制显示电路板设置在第三壳体内，并通过数据线与微调手轮驱动装置的九针串口连接；所述控制显示电路板上设有微控制器，所述液晶显示屏和输入键盘设置在第三壳体上，并与微控制器连接。

6.根据权利要求5所述的数显式迈克尔逊干涉仪自动化测量系统，其特征在于：所述控制显示电路板上还设有蜂鸣器，所述蜂鸣器与微控制器连接。