[发明专利]一种激光清洗设备

权利要求书

1.一种激光清洗设备，包括激光发生系统（1）、光束整形系统（2）和控制系统（4），所述激光发生系统（1）发射激光束，所述光束整形系统（2）设置于激光束光路上，其特征在于：还包括检测系统（3）、3D扫描振镜（5）和聚焦系统（6）；

所述激光束，由所述激光发生系统（1）发出，依次通过所述光束整形系统（2）、3D扫描振镜（5），聚焦系统（6）直至待清洗工件（7）；所述控制系统（4）通过控制所述激光发生系统（1），检测系统（3）和3D扫描振镜（5），实时动态调整激光束焦点位置并完成清洗工作。

2.根据权利要求1所述的激光清洗设备，其特征在于，还包括XY工作平台（8），所述控制系统（4）控制所述XY工作平台（8）工作，所述激光发生系统（1）、光束整形系统（2）、3D扫描振镜（5）安装于所述XY工作平台（8）。

3.根据权利要求1所述的激光清洗设备，其特征在于，所述光束整形系统（2）还包括反射偏振单元（9），所述反射偏振单元（9）包括平行放置的正交偏振镜片或平行放置的偏振镜片和反射镜片。

4.根据权利要求3所述的激光清洗设备，其特征在于，所述平行放置的正交偏振镜片为2片或所述平行放置的偏振镜片和反射镜片各位1片。

5.根据权利要求1所述的激光清洗设备，其特征在于，所述聚焦系统（6）包括变焦镜组。

6.根据权利要求5所述的激光清洗设备，其特征在于，所述变焦镜组为变焦透镜。

7.根据权利要求5所述的激光清洗设备，其特征在于，所述变焦镜组为移动镜组，所述移动镜组与电机相连，所述电机安装于支架上，并由所述控制系统中控制运动。

8.根据权利要求1所述的激光清洗设备，其特征在于，所述检测系统为激光测距模块，所述激光测距模块发出测距光束，所述测距光束与所述激光发生系统发出的激光束同轴。

9.根据权利要求8所述的激光清洗设备，其特征在于，所述激光测距模块包括合束镜，所述合束镜镜片两面镀对所述激光束增透膜，在合束镜镜片反射一面镀所述测距光束的反射膜。

10.根据权利要求1所述的激光清洗设备，其特征在于，所述检测系统为CCD可视模块(11)，所述CCD可视模块(11)与所述激光发生系统(1)发出的激光束同轴设置或旁轴设置。

11.根据权利要求2所述的大幅面激光清洗方法，其特征在于，包括以下几个步骤：

①将待清洗工件图纸导入所述控制系统；

②所述控制系统根据待清洗工件图纸及所述XY工作平台工作范围自动分割成多个清洗部分；

③控制系统控制所述XY工作平台、所述激光发生系统，检测系统和3D扫描振镜，分区域进行清洗，直至清洗工作完成。

12.一种便携式激光清洗设备，包括激光发生系统（1），光束整形系统（2），控制系统（4），所述激光发生系统（1）发生激光束，所述光束整形系统（2）设置于激光束光路上，其特征在于：还包括3D扫描振镜（5）和聚焦系统（6），所述聚焦系统（6）为变焦透镜，所述变焦透镜设置于所述3D扫描振镜（5）末端；

所述激光束，由所述激光发生系统（1）发出，依次通过所述光束整形系统（2）、3D扫描振镜（5）、变焦透镜直至待清洗工件（7）；所述控制系统（4）控制所述激光发生系统（1）和3D扫描振镜（5）工作。