[发明专利]一种微纳器件及其制备方法有效
| 申请号： | 201610016345.5 | 申请日： | 2016-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN105645345B | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 张跃;章潇慧;廖庆亮;关珣;张健华;苏子佳 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | B81B1/00 | 分类号： | B81B1/00;B81C1/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司11401 | 代理人： | 皋吉甫 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 器件 及其 制备 方法 | ||
1.一种微纳器件的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤一：对基片进行超声清洗并烘干；
步骤二：在所述基片上运用单原子沉积技术沉积ZnO纳米颗粒，形成ZnO纳米层；
步骤三：将沉积了所述ZnO纳米层的基片浸没到石墨烯量子点溶液中，在所述ZnO纳米层上自组装合成石墨烯量子点，构成了多层混合结构；
步骤四：通过紫外光照还原氯金酸的方法制备得到纳米Au胶体；
步骤五：将所述步骤三得到的多层混合结构浸没到酒精溶液中，并将所述步骤四得到的所述纳米Au胶体加入其中，构成混合溶液；以及
步骤六：在紫外灯光源的照射下，用磁力搅拌机搅拌所述步骤五得到的所述混合溶液，利用光催化降解合成将所述纳米Au胶体修饰到所述ZnO纳米层表面，形成纳米Au颗粒，形成所述微纳器件。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述基片选用硅片或者导电玻璃。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述基片的面积小于400cm2。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述ZnO纳米颗粒的粒度为1-50nm，所述ZnO纳米层的厚度为50-300nm。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述石墨烯量子点溶液的浓度为0.5-5mg/ml。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤六中的所述紫外灯光源的功率为50-500w。
7.一种微纳器件，其根据权利要求1的制备方法所制备。
8.根据权利要求7所述的微纳器件，其特征在于，所述ZnO纳米层的厚度为50-300nm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京科技大学，未经北京科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201610016345.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种微纳结构的制作装置及方法
- 下一篇：一种支撑装置及千斤顶
