[发明专利]一种掩膜版的清洗装置及清洗方法、蒸镀设备有效
| 申请号： | 201610005888.7 | 申请日： | 2016-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN105537194B | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 王强;刘利宾 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 赵天月 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 清洗 装置 方法 设备 | ||
1.一种精细金属掩膜版的清洗装置，其特征在于，包括振荡装置，所述振荡装置在所述精细金属掩膜版完成蒸镀后对其施加振动力，使所述精细金属掩膜版上的残留材料脱落，所述振荡装置包括多个超声振荡器，所述多个超声振荡器分别设置在所述精细金属掩膜版的四个侧边位置，且多个所述超声振荡器在进行清洗时的振动强度和频率不完全相同；以及
静电吸附装置，所述静电吸附装置包括电源和多个电极夹具，所述多个电极夹具分别固定于所述精细金属掩膜版的四个拐角位置。
2.根据权利要求1所述的精细金属掩膜版的清洗装置，其特征在于，所述静电吸附装置通过产生的静电吸附所述精细金属掩膜版上的残留材料。
3.根据权利要求1所述的精细金属掩膜版的清洗装置，其特征在于，所述精细金属掩膜版的清洗装置还包括回收装置，所述回收装置回收所述精细金属掩膜版上脱落的残留材料。
4.根据权利要求3所述的精细金属掩膜版的清洗装置，其特征在于，所述电极夹具与所述电源电性连接，所述回收装置与所述电源电性连接，所述电源在所述回收装置与所述精细金属掩膜版之间施加电压，以形成静电吸附力。
5.一种蒸镀设备，其特征在于，包括权利要求1-4中任一项所述的精细金属掩膜版的清洗装置。
6.一种精细金属掩膜版的清洗方法，其特征在于，包括如下步骤：在使用所述精细金属掩膜版完成蒸镀之后，通过调节清洗装置的振动强度和频率向所述精细金属掩膜版施加振动力，使所述精细金属掩膜版上的残留材料脱落，
所述清洗装置包括振荡装置，所述振荡装置包括多个超声振荡器，所述多个超声振荡器分别设置在所述精细金属掩膜版的四个侧边位置；以及
静电吸附装置，所述静电吸附装置包括电源和多个电极夹具，所述多个电极夹具分别固定于所述精细金属掩膜版的四个拐角位置。
7.根据权利要求6所述的精细金属掩膜版的清洗方法，其特征在于，在使用精细金属掩膜版完成蒸镀之后还包括如下步骤：通过静电吸附装置在所述精细金属掩膜版与回收装置之间施加电压以形成静电吸附力，使所述精细金属掩膜版上的残留材料在重力及静电吸附力的作用下落入回收装置中。
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