[发明专利]探针单元

权利要求书

1.一种探针单元(1)，所述探针单元(1)至少具有：

-一个探针壳体(9)，

-一个至少分段式棒状探针电极(5)，

-一个附加电极(6)，

所述附加电极(6)至少部分地同轴包围所述探针电极(5)并通过电绝缘(10)与所述探针电极(5)隔离开，

-一个第一紧固装置(11)，

所述附加电极(6)通过所述第一紧固装置(11)固定在所述探针壳体(9)中，

-一个接触模块(8)，

所述接触模块(8)能被施加到布置在所述探针壳体(9)中的所述探针电极(5)的棒状段，以及

-具有第二紧固装置(11a)，所述第二紧固装置(11a)用于将所述接触模块(8)附接到所述探针电极(5)，

其中所述接触模块(8)包括至少下列组件：

--一个绝缘套筒(13)

---所述绝缘套筒具有用于接纳所述棒状探针电极(5)的一部分的大致圆筒形基体(14)以及二维支承元件(15)，所述二维支承元件(15)基本上垂直于所述基体(14)并将所述基体(14)分成第一段和第二段，

--一个柔性印刷电路板(16)，

---所述柔性印刷电路板(16)至少具有用于电接触所述探针电极(5)的一个第一导电迹线(17)以及用于电接触所述附加电极(6)的第二导电迹线(18)，

---所述柔性印刷电路板(16)在端部区域中具有所述第一导电迹线(17)通向的第一接触区域(16a)以及所述第二导电迹线(18)通向的第二接触区(16b)，

---其中所述第一接触区域(16a)和所述第二接触区(16b)各自具有直径至少等于所述绝缘套筒(13)的所述基体(14)的外径的中心凹部，

---并且其中至少所述第一接触区域(16a)和所述第二接触区域(16b)的所述中心凹部通过折叠所述印刷电路板(16)使得所述第一接触区域(16a)能施加到所述基体(14)的第一部分，并且所述第二接触区域(16b)能施加到所述基体(14)的第二部分来形成，以及

--模块壳体(20)，其中所述模块壳体(20)是导电的，

其特征在于，

提供了第一接触盘(19)，其中所述第一接触盘(19)能施加到所述绝缘套筒(13)的所述基体(14)的所述第一段并电接触在所述第一接触区域(16a)中的所述第一导电迹线(17)；

所述模块壳体(20)具有第二接触盘(24)，所述第二接触盘能施加到所述绝缘套筒(13)的所述基体(14)的所述第二段并电接触在所述第二接触区域(16b)中的所述第二导电迹线(18)；

其中所述模块壳体(20)具有带圆筒形壁(25)的锅形几何形状，所述圆筒形壁(25)平行于所述基体(14)从所述第二接触盘(24)延伸，所述壁(25)至少使得在施加有所述接触模块(8)的区域中的所述探针电极(5)、至少在所述支承元件(15)的区域中的所述绝缘套筒(13)、以及至少在两个接触区域(16a、16b)的区域中的所述柔性电路板(16)基本上得到包围、保护和/或针对电磁辐射的屏蔽，并且

其中所述第一接触盘(19)具有小于所述第二接触盘(24)的外径。

2.根据权利要求1所述的探针单元，其特征在于，

所述柔性印刷电路板(16)是半柔性印刷电路板。

3.根据权利要求2所述的探针单元，其特征在于，

所述柔性印刷电路板(16)是由具有第一层(27)和第二层(28)的至少两个层(27、28)组成的电路板(16)，所述第一导电迹线(17)在所述第一层(27)中至少分段伸展，所述第二导电迹线(18)在所述第二层(28)中至少分段伸展。