[发明专利]反射器

权利要求书

1.一种反射器，包括由衬底支撑的板，其中所述板具有反射表面，并且通过无粘合剂结合被固定至衬底，其中在反射器中设置冷却通道阵列，所述冷却通道阵列的通道由衬底的表面中的开口通道形成，所述开口通道被中间板封闭以形成所述通道，其中所述反射器还包括第二冷却通道阵列，所述第二冷却通道阵列的多个通道由中间板中的开口通道形成，中间板中的开口通道被板封闭。

2.根据权利要求1所述的反射器，其中所述板和衬底之间的无粘合剂结合包括直接结合或光学接触结合。

3.根据权利要求1或2所述的反射器，其中所述衬底为通过粘合剂的层固定至另一个衬底的中间衬底。

4.根据权利要求3所述的反射器，其中所述中间衬底具有约2mm或更小的厚度。

5.根据权利要求1或2所述的反射器，其中所述板和所述衬底由相同的材料形成。

6.根据权利要求5所述的反射器，其中所述材料为硅、SiSiC、SiC、铜、蓝宝石、铝或镍中的一种。

7.根据权利要求1或2所述的反射器，其中所述板和所述衬底由不同的材料形成。

8.根据权利要求7所述的反射器，其中所述板由硅、SiC、铜或铝中的一种形成。

9.根据权利要求7所述的反射器，其中所述衬底由微晶玻璃、堇青石、ULE、石英或不胀钢中的一种形成。

10.根据权利要求1或2所述的反射器，其中每一个通道具有250微米或更大的宽度。

11.根据权利要求1或2所述的反射器，其中每一个通道具有小于1mm的宽度。

12.根据权利要求1或2所述的反射器，其中当在横截面中观察时通道的每一侧的尺寸小于1000微米。

13.根据权利要求1或2所述的反射器，其中冷却通道阵列的通道的横截面大致呈矩形。

14.根据权利要求1或2所述的反射器，其中所述板固定在衬底的弯曲表面上。

15.根据权利要求1或2所述的反射器，其中所述板的反射表面是弯曲的，并且所述板的相反表面是平的。

16.根据权利要求1或2所述的反射器，还包括入口管道和出口管道，所述入口管道被配置为将液体传送至冷却通道阵列中，所述出口管道被配置为从冷却通道阵列中移除液体。

17.根据权利要求1或2所述的反射器，其中所述反射器为反射镜或衍射光栅。

18.根据权利要求1或2所述的反射器，其中所述板的反射表面包括金属层。

19.根据权利要求1所述的反射器，其中封闭中间板中的开口通道的板为具有反射表面的板。