[发明专利]密封用片以及半导体装置在审
| 申请号: | 201580061825.7 | 申请日: | 2015-10-28 |
| 公开(公告)号: | CN107112293A | 公开(公告)日: | 2017-08-29 |
| 发明(设计)人: | 饭野智绘;志贺豪士;石井淳 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
| 主分类号: | H01L23/29 | 分类号: | H01L23/29;C09K3/10;H01L23/31 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 葛凡 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 密封 以及 半导体 装置 | ||
【权利要求书】:
1.一种密封用片,其特征在于,使用在150℃进行1小时热处理后的样品,在50℃的N-甲基-2-吡咯烷酮中浸渍3000秒钟前后的重量变化以热处理后为基准为1重量%以下。
2.如权利要求1所述的密封用片,其特征在于,
其包含热固性材料和无机系化合物,
所述热固性材料和所述无机系化合物的总含量为整体的95重量%以上。
3.如权利要求2所述的密封用片,其特征在于,含有苯乙烯-异丁烯系嵌段共聚物作为热塑性材料。
4.一种半导体装置,其是使用权利要求1~3中任一项所述的密封用片而制造的。
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