[发明专利]温度测量设备、设备制造方法以及包括该设备的碰撞点测量系统

权利要求书

1.一种温度测量设备(1)，其特征在于包括：

·磁性金属薄膜片(2)，所述磁性金属薄膜片由多个区域(3)形成，并且所述多个区域中的每个区域包括电压读取装置(4)，所述电压读取装置在所述每个区域中包括金属材料沉积物；

使得在操作中并且在存在施加的磁场(7)的情况下，所述多个区域中的一个区域中的温度变化(6)在所述一个区域中产生电压(8)，所述电压能够通过对应于所述一个区域的电压读取装置(4)来读取。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述片(2)的厚度在10nm至100nm的范围内。

3.根据权利要求1或2中任一项所述的设备，其特征在于，所述片(2)的磁性金属材料选自：

·半金属磁性材料；

·钙钛矿氧化物材料；

·坡莫合金型合金；

·镍铬合金；

·室温下的金属铁磁性元素。

4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述半金属磁性材料选自La_2/3Sr_1/3MnO₃、La_2/3Ca_1/3MnO₃、Fe₃O₄。

5.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述金属铁磁性元素选自Fe、Ni。

6.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述沉积物(4)由选自铂、金、钯、银、铜、铝的材料制成。

7.根据权利要求1或6中任一项所述的设备，其特征在于，所述沉积物(4)是点状沉积物。

8.根据权利要求6和7中任一项所述的设备，其特征在于，同一区域的沉积物之间的间隔在微米至毫米的范围内。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的设备，其特征在于，所述设备还包括在其上沉淀所述磁性金属薄膜片(2)的衬底。

10.一种用于测量粒子的碰撞点的系统，其特征在于包括：

·根据权利要求1至9中任一项所述的温度测量设备(1)；以及

·由动能吸收材料制成的片(5)，所述片(5)被配置成将粒子的动能转换成温度变化。

11.一种用于测量辐射束的碰撞点的系统，其特征在于包括：

·根据权利要求1至9中任一项所述的温度测量设备(1)；以及

·由辐射吸收材料制成的片(5)，所述片(5)被配置成将辐射束能量转换成热。

12.一种用于制造温度测量设备(1)的方法，其特征在于包括：

·提供包括前体阳离子和聚合物的水溶液；

·通过沉积处理在衬底上沉积所述水溶液；

·使所述衬底经受加热处理；以及

·在所述衬底中生成多个金属沉积物(4)。

13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，所述沉积处理是物理真空沉积处理。

14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述物理真空沉积处理选自：

·旋转涂布；

·溅射；

·原子层沉积；

·脉冲激光沉积(PLD)。

15.根据权利要求12至14中任一项所述的方法，其特征在于，所述在所述衬底中生成多个金属沉积物(4)包括：

o在所述衬底上沉积金属；

o向所述衬底施加掩模；以及

o应用光刻处理以在所述衬底上获得多个点状金属沉积物。

16.根据权利要求12至15中任一项所述的方法，其特征在于，所述前体阳离子选自La、Sr、Ca、Mn、Fe、Cr、Ni。

17.根据权利要求12至16中任一项所述的方法，其特征在于，所述聚合物选自PEI水溶性聚合物或壳聚糖。

18.根据权利要求12至17中任一项所述的方法，其特征在于，所述前体阳离子的浓度在毫摩尔范围内。

19.根据权利要求12至18中任一项所述的方法，其特征在于，所述聚合物的浓度在毫摩尔范围内。