[发明专利]磁传感器

说明书

多个磁阻元件包含成对的第1磁阻元件(120a、120b)以及第2磁阻元件(130a、130b)。第1磁阻元件(120a、120b)的阻值变化率大于第2磁阻元件(130a、130b)的阻值变化率。第1磁阻元件(120a、120b)包含在俯视时沿着假想圆的圆周被配置为在该假想圆的周向或径向上排列且相互连接的多个第1单位图案。第2磁阻元件(130a、130b)在俯视时位于上述假想圆的中心侧，且被第1磁阻元件(120a、120b)包围。

技术领域

本发明涉及磁传感器，特别涉及包含磁阻元件的磁传感器。

背景技术

作为公开了谋求磁场检测的各向同性的提升的磁传感器的在先文献，有JP特开平11-274598号公报(专利文献1)、JP特开平9-102638号公报(专利文献2)、国际公开第2013/171977号(专利文献3)以及JP特开2012-88225号公报(专利文献4)。

在专利文献1所记载的磁传感器中，磁阻元件的图案是螺旋状。螺旋状的图案的两端部分别形成在位于相反的一侧的最外部。磁阻元件的图案实质上仅由弯曲部形成。

在专利文献2所记载的磁传感器中，磁阻元件呈漩涡状卷绕多圈而形成圆形形状，并且相对于外部磁场而等方位性地成膜形成。

在专利文献3所记载的磁传感器中，桥接电路的多个磁阻元件分别被连接为整体上沿着与磁场检测方向实质正交的方向的多个部分以给定间隔平行排列且依次折返，并且，上述多个部分分别被连接为沿着磁场检测方向的多个部分以给定间隔平行排列且依次折返，从而形成为电连接的折曲状。

专利文献4所记载的磁传感器是具有将直径不同的半圆弧状图案连续相连所成的形状的两个磁阻元件并联连接而构成的。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开平11-274598号公报

专利文献2：JP特开平9-102638号公报

专利文献3：国际公开第2013/171977号

专利文献4：JP特开2012-88225号公报

发明内容

发明要解决的课题

在专利文献1、2中，关于使用多个磁阻元件来构成磁传感器的内容并未记载也没有任何启示。在专利文献3所记载的磁传感器中，由于并联配置折曲状的多个图案，因此关于磁传感器的小型化，有能进一步提升的余地。在专利文献4所记载的磁传感器中，使布线立体地迂回，制造工艺较为复杂。

本发明正是鉴于上述的问题点而提出的，其目的在于提供一种能简易制造的小型的磁传感器。

用于解决课题的手段

基于本发明的磁传感器是具备通过布线相互电连接且构成桥接电路的多个磁阻元件的磁传感器。多个磁阻元件包含成对的第1磁阻元件以及第2磁阻元件。第1磁阻元件的阻值变化率大于第2磁阻元件的阻值变化率。第1磁阻元件包含在俯视时沿着假想圆的圆周被配置为在该假想圆的周向或径向上排列且相互连接的多个第1单位图案。第2磁阻元件在俯视时位于上述假想圆的中心侧，且被第1磁阻元件包围。

在本发明的一个方式中，第2磁阻元件包含分别比多个第1单位图案细且相互连接的多个第2单位图案。

在本发明的一个方式中，第2磁阻元件与从上述假想圆的中心侧连至上述假想圆的外侧的布线连接，多个第1单位图案分别位于沿着上述假想圆的圆周中上述布线所位于的部分开放的假想C字形状的位置。

在本发明的一个方式中，磁传感器包含两对的第1磁阻元件以及第2磁阻元件。两对的第1磁阻元件以及第2磁阻元件中所含的两个第1磁阻元件各自的周向的朝向不同，使得上述假想C字形状的朝向互不相同。