[发明专利]固定磨粒钢线及线锯并用的工件的切断方法有效
| 申请号: | 201580025826.6 | 申请日: | 2015-03-18 |
| 公开(公告)号: | CN106413993B | 公开(公告)日: | 2019-09-17 |
| 发明(设计)人: | 加藤忠弘 | 申请(专利权)人: | 信越半导体株式会社 |
| 主分类号: | B24D11/00 | 分类号: | B24D11/00;B24B27/06;B24D3/00;B28D5/04;H01L21/304 |
| 代理公司: | 北京京万通知识产权代理有限公司 11440 | 代理人: | 许天易 |
| 地址: | 日本东京都千*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 固定 磨粒钢线 并用 工件 切断 方法 | ||
【说明书】:
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