[实用新型]一种多晶硅铸锭坩埚装料设备有效
| 申请号: | 201521093417.3 | 申请日: | 2015-12-25 |
| 公开(公告)号: | CN205275787U | 公开(公告)日: | 2016-06-01 |
| 发明(设计)人: | 高文秀;赵百通;李帅 | 申请(专利权)人: | 江苏盎华光伏工程技术研究中心有限公司 |
| 主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人: | 高玉滨 |
| 地址: | 214000 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 坩埚 装料 设备 | ||
1.一种多晶硅铸锭坩埚装料设备,包括坩埚,其特征在于,所述坩埚上方设有悬吊横梁,所述悬吊横梁上设有第一丝杠和第一导向杆,在所述悬吊横梁上套设有滑块,且所述滑块与所述第一丝杠配合,所述滑块在所述悬吊横梁上滑动,在所述滑块上设有与横梁方向垂直的第二丝杠和第二导向杆,所述第二导向杆下端连接有硅锭固定器,所述硅锭固定器上设有吸盘,所述吸盘吸附硅块,所述第二丝杠的上下运动带动硅块进入坩埚。
2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭坩埚装料设备,其特征在于,还包括第一伺服电机和第一PLC,所述第一伺服电机与所述第一丝杠连接,所述第一PLC控制第一伺服电机运动。
3.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭坩埚装料设备,其特征在于,还包括第二伺服电机和第二PLC,所述第一伺服电机与所述第二丝杠连接,所述第二PLC控制第二伺服电机运动。
4.根据权利要求1-3中任意一项所述的多晶硅铸锭坩埚装料设备,其特征在于,所述第二导向杆通过缓冲器与硅锭固定器连接。
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