[实用新型]半导体蒸发台用热电偶保护装置

权利要求书

1.一种半导体蒸发台用热电偶保护装置，其包括有蒸发室腔体，蒸发室腔体内部设置有用于检测温度的温度传感装置，温度传感装置中包含有热电偶；其特征在于，所述半导体蒸发台用热电偶保护装置包含有热电偶保护套，其沿水平方向进行延伸，所述热电偶设置于热电偶保护套内部。

2.按照权利要求1所述的半导体蒸发台用热电偶保护装置，其特征在于，所述热电偶保护套的长度至少为热电偶长度的3/4。

3.按照权利要求2所述的半导体蒸发台用热电偶保护装置，其特征在于，所述热电偶保护套之中设置有多个在水平方向上延伸的第一固定端板，第一固定端板与蒸发室腔体的下端面之间通过螺栓进行连接。

4.按照权利要求3所述的半导体蒸发台用热电偶保护装置，其特征在于，所述蒸发室腔体之中设备多根支撑杆件，支撑杆件于蒸发室腔体的上端面与下端面之间进行延伸；所述热电偶保护套之中设置有多个在竖直方向上延伸的第二固定端板，每一个第二固定端板均位于支撑杆件的侧端部，第二固定端板与支撑杆件之间通过螺栓进行连接。