[实用新型]一种母线浮动式圆锥镜抛光装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及光学抛光机械装置，具体涉及一种母线浮动式圆锥镜 抛光装置。

背景技术

锥体镜是形状如标准圆锥形的光学零件,它常应用于光学系统中的光 束整形,它可以将一个圆形光束整形成圆环形光束,这样的光束在特定的应 用场合非常有用,比如在集成电路光刻机中能提高光刻线条的分辩率,继而 达到提高集成电路集成度的关键作用。

锥体镜的制造尤其是抛光是非常困难的,对于要求不高的金属锥体镜 一般通过车削或磨削的方式就可以完成制造。但是对用于高端应用的光学 玻璃材料的锥体镜来说,磨削的方式仅仅属于该种零件的粗加工,而真正的 制造难点在于抛光工序。

传统的光学抛光工艺已经经历了上百年的发展,非常成熟。它对平面 镜,球面镜,棱镜的加工非常适合,工艺成熟,加工效率高,加工精度高。光学 零件的加工紧密依赖于制造它的加工设备,以上常用的光学零件抛光设备 一般是单轴或多轴的平面抛光机,球面抛光机,柱面抛光机等,这些设备非 常成熟,价格低,性能稳定,为绝大多数的光学加工企业所采用,但是锥体镜 非常特殊,传统的加工设备不能完成对该零件的抛光,目前价格较低,适用 于企业生产用的锥体镜抛光机没有设计出来上市销售。

锥体镜的抛光难度之一,在于没有专用设备,它源于锥体镜的形状特殊. 一般的光学零件,如平面镜,球面镜它的抛光轴线有无限多,并且零件上任 何区域的曲率半径相等,这样的特性使的加工它的设备非常简单,即工件进 行自转,抛光盘以零件同样的曲率半径的面形模盘(平面镜用平面抛光盘, 球面镜用球面抛光盘),在工件的表面进行左右摆动,同时在工件表面添加 抛光液即可进行平面镜,球面镜的抛光.但是锥体镜只有一个光轴,而且表 面的各点的曲率半径沿光轴方向各不相同,即其母面是直线,但相邻母线的 各点却是圆环面,造成抛光设备中工件可以旋转,而抛光盘却不能摆动,抛 光盘不能是任何固定的曲率的问题。所以必须设计制造出能解决上述问题 的专用的抛光装置才能解决问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种圆锥镜专用抛 光装置，降低椎体镜抛光设备成本，减轻抛光劳动强度，提高抛光效率， 适用与椎体镜批量生产。

为达到上述实用新型目的，提供一种母线浮动式圆锥镜抛光装置，包 括动力系统、母线浮动系统和抛光系统，所述的动力系统包括动力机架， 动力机架的锥形动力轴伸出台面连接工件转盘，锥形动力轴带动工件转盘 旋转；所述的母线浮动系统包括悬置于动力机架台面上的浮动盘，所述浮 动盘中心有避让锥形动力轴的避让孔；浮动盘两侧设置导轨支撑，导轨支 撑之间固定倾斜的母线抛光导轨；母线抛光导轨上设置用于驱动抛光系统 往复运动的母线运动驱动电机；所述的抛光系统包括一个与母线抛光导轨 垂直的抛光轴，抛光轴末端固定抛光盘，所述抛光盘由抛光盘驱动电机带 动旋转。

通过的可提供它旋转动力的动力机架改造，只保证锥形动力轴的伸出 机架的台面，锥形旋转轴的动力系统直接传递到工件转盘上，浮动盘上有 避让孔，因此浮动盘及安装在浮动盘上面的其他部件均不受传动动力的影 响，能保持工件转盘转动的情况下，浮动盘不跟随工件及锥形动力轴构成 的动力系统转动。浮动盘、导轨支撑和母线抛光导轨构成母线浮动系统， 导轨左支撑，导轨右支撑，用于构成母线抛光导轨的支撑,与水平面的角度 由导轨支撑的上端面的角度决定,角度的数值等于工件的底角度数。由于抛 光轴和母线抛光导轨相垂直，因此抛光盘抛光为圆锥镜工件的母线方向， 通过电机带抛光盘做往复运动，使抛光盘沿母线抛光导轨运动，平面抛光 盘同时旋转运动进行抛光。

优选的，所述的抛光盘安装于抛光轴上的母线导轨滑块上，所述母线 导轨滑块套接于母线抛光导轨上，所述母线运动驱动电机推动母线导轨滑 块在母线抛光导轨上做往复运动。

优选的，所述的抛光盘驱动电机安装在母线导轨滑块上，通过抛光盘 驱动同步带轮传递到抛光轴上。

优选的，所述浮动盘和动力机架上有相应的过孔，浮动盘与动力机架 通过浮动限位螺栓相连。经浮动盘上的过孔与动力机架固定,使工件转盘转 动时,浮动盘不跟随转动。

优选的，所述的过孔内径大于螺栓直径1mm。以便为导轨支撑摆动提供 空间,又不跟随工作转盘转动