[实用新型]一种多层石墨烯污点检测系统

权利要求书

1.一种多层石墨烯污点检测系统，其特征在于，多层石墨烯污点检测系统的控制系统 包括：

控制单元，包括控制器；

扫描单元，包括扫描机构，扫描机构包括激光器、升降器，激光器包括一扁平激光发生 器、一圆头激光发生器及凹形的激光接收槽、及设于激光接收槽内侧的若干激光传感器；激 光器升降至指定位置后，带形激光器产生宽为1mm、厚度为10um的偏平激光，激光经石墨烯 反射后由激光接收槽内指定区域的激光传感器接收；非指定区域内的激光传感器接收到激 光或指定区域内的激光传感器接收到的激光强度变化超过设定值时，则打开圆头激光发生 器产生半径为10um的柱形激光，柱形激光沿带形激光的宽度方向扫描，柱形激光经石墨烯 和反射镜反射激光传感器上，便于计算出石墨烯上带污点的位置；

操作单元，包括移动台和上设置在移动台上的固定器和反射镜，移动台上设置有横向 移动器和纵向移动器，移动台及光屏与控制器电连接；固定器用于固定石墨烯，反射镜设于 石墨烯下方，光屏设于固定器的侧边，用于产生单色光；移动台移动时，使设于固定器上的 石墨烯水平移动，反射激光至激光传感器；

拍照单元，包括拍照机构，拍照机构包括照相机、设于照相机镜头处的伸缩装置、及可 移动的放大镜、及光屏；放大镜可移动至伸缩装置前端，便于拍照；反射光屏产生的单色光 由照相机拍照；

真空单元，包括密封罩、抽真空器及鼓风器；抽真空器包括真空电机、出气口、抽气口和 设置在出气口与抽气口之间的单向阀；鼓风器包括氮气罐、电磁阀、及鼓风头，鼓风头由控 制器控制转动；在抽气口处还通过电磁阀连接有氮气罐；密封罩配合机架将扫描单元、操作 单元、及拍照单元密封；图像处理单元，用于对拍照单元采集到的图片进行图像处理；

控制单元分别与扫描单元、操作单元、拍照单元、及真空单元、图像处理单元相连，并用 于控制各单元。