[实用新型]激光装置及控制系统

权利要求书

1.一种激光装置，其特征在于，包括：激光器、第一反射镜、第二反射镜、第一探测器、第二探测器和能量调节机构；

所述第一反射镜、所述第二反射镜和所述能量调节机构沿所述激光器的光路方向依次设置；

所述第一探测器用于检测入射到所述第一反射镜上的激光的光斑位置信息，所述第二探测器用于检测入射到所述第二反射镜上的激光的光斑位置信息；

所述第一探测器还用于检测入射到所述第一反射镜上的激光的取样能量值，和/或，所述第二探测器还用于检测入射到所述第二反射镜上的激光的取样能量值；

所述第一反射镜和所述第二反射镜分别安装在两个转动调节机构上。

2.根据权利要求1所述的激光装置，其特征在于，所述第一探测器包括第一位置探测器，所述第二探测器包括第二位置探测器和第二能量探测器；

所述第一位置探测器用于检测所述入射到所述第一反射镜上的激光的光斑位置信息；

所述第二位置探测器用于检测所述入射到所述第二反射镜上的激光的光斑位置信息，所述第二能量探测器用于检测所述入射到所述第二反射镜上的激光的取样能量值。

3.根据权利要求1所述的激光装置，其特征在于，所述能量调节机构为声光调制器或电光调制器。

4.根据权利要求1所述的激光装置，其特征在于，所述能量调节机构包括半波片和偏振分光棱镜，所述第一反射镜、所述第二反射镜、所述半波片和所述偏振分光棱镜沿所述激光器的光路方向依次设置。

5.根据权利要求4所述的激光装置，其特征在于，还包括吸收体，所述吸收体沿所述激光器的光路上的激光中的S偏振分量经所述偏振分光棱镜反射后的方向设置。

6.根据权利要求1-5之一所述的激光装置，其特征在于，还包括第三反射镜，所述第一反射镜、所述第二反射镜、所述能量调节机构和所述第三反射镜沿所述激光器的光路方向依次设置。

7.根据权利要求6所述的激光装置，其特征在于，所述激光器为固体激光器或半导体激光器。

8.根据权利要求6所述的激光装置，其特征在于，还包括激光装置外壳，所述激光器、所述第一反射镜、所述第二反射镜、所述第一探测器、所述第二探测器、所述能量调节机构和所述第三反射镜均设置于所述激光装置外壳内。

9.根据权利要求6所述的激光装置，其特征在于，还包括用于校准所述激光器的光路方向的第一工装和第二工装，所述第一工装位于所述第二探测器和所述能量调节机构之间，所述第二工装位于所述能量调节机构的远离所述第二探测器的一侧。

10.一种激光控制系统，包括权利要求1-9任一所述激光装置，其特征在于，还包括控制装置，所述控制装置用于根据所述第一探测器和所述第二探测器检测到的所述光斑位置信息和取样能量值，控制安装在所述转动调节机构上的所述第一反射镜的安装角度、安装在转动调节机构上的所述第二反射镜的安装角度以及激光器发出的激光经过所述能量调节机构的调节后输出的激光的能量大小。