[实用新型]金属有机化学气相沉积电阻加热器

权利要求书

1.一种金属有机化学气相沉积电阻加热器，其包括：

四层环形金属板，上下平行设置，分别具有对应的沿螺旋线排列的若干圆孔，自上而下分别为第一反射板、第一基座、第二反射板和第二基座，所述第一反射板、第一基座、第二反射板和第二基座互相由若干固定组件和若干定位件连接固定；

一加热体，包括呈螺旋线状铺设在所述第一反射板上的加热线圈，所述加热线圈由穿设在所述若干圆孔中的若干支撑件支撑；

其特征在于，所述第一反射板分为三段。

2.如权利要求1所述的金属有机化学气相沉积电阻加热器，其特征在于：所述加热体还包括沿螺旋线等距分布的穿设在所述若干圆孔中的若干对第一连接件和两第二连接件；所述加热线圈由若干等长的加热电阻丝通过所述若干对第一连接件连接而成；所述加热线圈成一通路，两端分别在所述四层环形金属板外侧和内侧并分别通过一所述第二连接件连通电源。

3.如权利要求2所述的金属有机化学气相沉积电阻加热器，其特征在于：所述第一反射板每段之间留有2毫米的间隙并通过所述固定组件固定。

4.如权利要求2所述的金属有机化学气相沉积电阻加热器，其特征在于：所述第一反射板厚度为1.5～6毫米。

5.如权利要求2所述的金属有机化学气相沉积电阻加热器，其特征在于：所述第二反射板厚度为0.1～3毫米。

6.如权利要求2所述的金属有机化学气相沉积电阻加热器，其特征在于：所述四层环形金属板材质为钼、钨钼合金或者钼镧合金。

7.如权利要求6所述的金属有机化学气相沉积电阻加热器，其特征在于：所述四层环形金属板材质为钼镧合金。

8.如权利要求2所述的金属有机化学气相沉积电阻加热器，其特征在于：所述加热电阻丝材质为钨或者钼。

9.如权利要求8所述的金属有机化学气相沉积电阻加热器，其特征在于：所述加热电阻丝材质为钨。