[实用新型]具有柔性导通结构的MEMS装置有效
| 申请号： | 201520764616.6 | 申请日： | 2015-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN204948350U | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 孙德波;董南京 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 唐丽;马佑平 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 柔性 结构 mems 装置 | ||
1.一种具有柔性导通结构的MEMS装置，其特征在于，包括：
封装结构，所述封装结构包括线路板(100)以及形成侧壁的中空腔体和底板；
所述封装结构内部设有MEMS芯片(1)和ASIC芯片(2)，所述MEMS芯片(1)和ASIC芯片(2)设置在所述底板上；
所述ASIC芯片(2)和/或所述MEMS芯片(1)通过柔性导通结构与所述线路板(100)的焊盘电连接。
2.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述形成侧壁的中空腔体和底板为一体设置的金属帽结构或者分离的线路板结构。
3.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述ASIC芯片(2)和/或所述MEMS芯片(1)在自身顶部通过柔性导通结构与所述线路板(100)的焊盘连接。
4.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述柔性导通结构为弹簧式连接器(4)。
5.根据权利要求4所述的MEMS装置，其特征在于，所述弹簧式连接器(4)的两端为相对设置的平面部(41)，两个平面部(41)的中心通过弹簧结构(42)连接。
6.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述柔性导通结构为柔性探针式连接器或柔性导电硅橡胶。
7.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述MEMS器芯片(1)和ASIC芯片(2)通过引线(3)连接；或者，所述MEMS器芯片(1)和ASIC芯片(2)集成为一个芯片。
8.根据权利要求1-7任一项所述的MEMS装置，其特征在于，所述MEMS装置为麦克风。
9.根据权利要求8所述的MEMS装置，其特征在于，所述线路板(100)开设有声孔(10)，或者所述底板在对应MEMS芯片(1)的位置开设有声孔(10)。
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