[实用新型]三甲基镓尾气处理装置以及制备系统

权利要求书

1.一种三甲基镓尾气处理装置，其特征在于，该尾气处理装置包括压力调节装置(5)、冷却装置(1)和内置于该冷却装置(1)中的闭合回收容器(2)，所述回收容器(2)包括进气口、出气口以及出料口，所述进气口连接有带进气阀(31)的尾气进气管(3)，所述出气口连接有带排气阀(41)的尾气出气管(4)，所述尾气出气管(4)连接于所述压力调节装置(5)，其中所述冷却装置(1)用于将所述回收容器(2)的温度冷却为小于三甲基镓的熔点，所述回收容器(2)还包括通过所述出料口插入到该回收容器(2)底部的回收管(6)。

2.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述回收容器(2)还包括连通所述尾气进气管(3)、所述尾气出气管(4)和所述回收管(6)的管排(7)，该管排(7)中设置有位于所述尾气出气管(4)、所述尾气进气管(3)以及所述回收管(6)之间的通断阀。

3.根据权利要求2所述的尾气处理装置，其特征在于，所述尾气进气管(3)、所述尾气出气管(4)、所述回收管(6)以及所述管排(7)为金属软管或合金软管。

4.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述回收容器(2)还包括隔板(8)，所述进气口和所述出气口形成于所述回收容器(2)的顶壁并分别位于所述隔板(8)的两侧，该隔板(8)从所述顶壁的内壁面向下延伸以形成折返气道，使得所述尾气进气管(3)的尾气通过所述折返气道流动至所述尾气出气管(4)。

5.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述尾气处理装置包括依次串联的多个所述回收容器(2)，所述尾气处理装置还包括用于连通相邻的两个所述回收容器(2)的中间管道(9)，所述中间管道(9)连接在所述回收容器(2)的进气口与相邻的回收容器(2)的出气口之间。

6.根据权利要求5所述的尾气处理装置，其特征在于，每个所述中间管道(9)设置有阀门。

7.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述压力调节装置(5)为手套箱。

8.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述冷却装置(1)为冷阱，冷却介质为液氮。

9.根据权利要求8所述的尾气处理装置，其特征在于，所述冷阱为开放式冷阱，并且该冷阱的容器壁形成为中空结构。

10.一种三甲基镓制备系统，其特征在于，该制备系统包括尾气排放管路、物料收集容器以及根据权利要求1-9中任意一项所述的尾气处理装置，所述尾气进气管(3)连接于所述尾气排放管路，所述回收管(6)连接于所述物料收集容器。