[实用新型]一种用于激光直写曝光机的自动吸尘装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及激光直写曝光机技术领域，具体来说是一种用于激光直写曝光机的自动吸尘装置。

背景技术

在半导体光刻机领域中，PCB板除尘是光刻设备曝光前的重要工序，设备曝光工序前，需要将PCB板表面除尘。如果PCB板表面吸附有灰尘、金属屑、人体皮屑等颗粒物，曝光时会出现曝光不清晰甚至断点现象，因此PCB板除尘是光刻过程的技术难题。传统的PCB板除尘是人工用粘尘滚在PCB板上来回滚筒，达到除尘目的，此过程大概需要10~20秒，且此过程不可提前于曝光前太久，否则PCB板曝光前可能再次吸附灰尘，因此会大大影响工作效率，不利于PCB板曝光产能的提高。同时在曝光过程中，PCB板吸附在曝光平台上在X、Y两个方向前后左右移动，此过程中也有再次吸附灰尘颗粒的可能，同样会增加产品不良率。如何开发出一种能够在曝光过程中依然可以对PCB板进行吸附除尘的装置已经成为急需解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中无法在曝光过程中对PCB板进行除尘的缺陷，提供一种用于激光直写曝光机的自动吸尘装置来解决上述问题。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种用于激光直写曝光机的自动吸尘装置，包括机台，机台上安装有支撑平台，支撑平台上安装有曝光机头组，还包括自吸尘组件，自吸尘组件包括固定安装在支撑平台侧部的上固定块，上固定块位于曝光机头组前部面板的下方，上固定块两端下部分别垂直安装有竖板，竖板的数量为2个，2个竖板的下部均垂直安装在下固定块上，上固定块内横向设有集尘管，吸尘管贯穿下固定块安装在上固定块上且与集尘管相通，集尘管的一端为封闭结构，集尘管的另一端贯穿上固定块且接有真空管，真空管的另一端接在工业吸尘器上。

所述的吸尘管的数量为7个，7个吸尘管均匀间隔布置。

还包括吸尘头，吸尘头安装在吸尘管的下方。

所述的吸尘头为硅胶材质。

所述的机台上安装有XY轴移动平台，XY轴移动平台上放置有PCB板，吸尘头位于PCB板上方2cm-15cm处。

有益效果

本实用新型的一种用于激光直写曝光机的自动吸尘装置，与现有技术相比不仅使得除尘工作实现非人工化处理，并且在曝光过程中依然可以对PCB板进行除尘作业。其结构简单、成本低廉，有效的解决了PCB板曝光前的除尘问题，提高了产能、降低了不良率，并且除尘作业无耗材损耗，降低了生产成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构立体图；

图2为本实用新型中自吸尘组件的结构立体图；

图3为本实用新型中自吸尘组件的正面剖视图；

其中，1-自吸尘组件、2-XY轴移动平台、3-PCB板、4-曝光机头组、5-机台、6-真空管、7-工业吸尘器、8-支撑平台、9-吸尘管、11-上固定块、12-竖板、13-下固定块、14-集尘管、15-吸尘头。

具体实施方式

为使对本实用新型的结构特征及所达成的功效有更进一步的了解与认识，用以较佳的实施例及附图配合详细的说明，说明如下：

如图1所示，本实用新型所述的一种用于激光直写曝光机的自动吸尘装置，包括机台5，机台5上安装有支撑平台8和XY轴移动平台2，支撑平台8用于支撑安装曝光机头组4，XY轴移动平台2用于移动PCB板3。XY轴移动平台2上放置有PCB板3，PCB板3在XY轴移动平台2的作用下进行移动，曝光机头组4安装在支撑平台8上，曝光机头组4的曝光镜头穿过支撑平台8朝下，在PCB板3的移动轨迹上方，PCB板3在XY轴移动平台2的运动下完成曝光作业。

如图2和图3所示，还包括自吸尘组件1，自吸尘组件1用于在PCB板3上进行吸尘作业。自吸尘组件1包括固定安装在支撑平台8侧部的上固定块11，上固定块11上可以设计多个螺孔，通过螺钉固定在支撑平台8的侧部。为了保证PCB板3能够在除尘后即刻进入曝光区域，防止PCB板3的二次污染，上固定块11位于曝光机头组4前部面板的下方，即自吸尘组件1位于曝光机头组4前部伸出支撑平台8部分的下方，与曝光机头组4前部面板保持同一垂直面，这样可以尽可能的接近曝光区域。