[实用新型]电容靶式流量传感器

权利要求书

1.一种电容靶式流量传感器，包括力测量部分和力转换部分，其特征在于，所述的力测量部分包括靶片(20)、靶杆(30)、靶杆座(40)，所述靶片(20)固定设置在靶杆(30)的下端并伸入测量管(10)的内部，靶杆(30)从靶杆座(40)的下端向下延伸，靶杆座(40)的上端设有弹性管(50)；所述的力转换部分包括两组对称布置的动电极(60)和定电极(70)组成的差动电容组，以及设置在两组动电极(60)和定电极(70)之间的电容数字转换芯片(80)；所述的动电极(60)与所述的靶杆座(40)固定连接，所述的定电极(70)固定设置在靶杆座(40)的内部并与所述的动电极(60)形成电极间距；所述的动电极(60)随着力测量部分的受力变形产生移动并改变所述的电极间距，从而改变所述的差动电容组的电容差值，电容数字转换芯片(80)将所述的电容差值变化信号转换为数字信号并输出。

2.根据权利要求1所述的一种电容靶式流量传感器，其特征在于：所述的靶片(20)采用圆形或者方形。