[实用新型]石英玻璃制砣机

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械设备技术领域，特别是涉及一种石英玻璃制砣机。

背景技术

石英玻璃可采用氢氧焰或等离子体为热源，原料可采用水晶粉在石英基底表面分布熔融制备而成；或采用含硅前驱体(通常为SiCl₄)原料经水解或氧化反应产生的SiO₂纳米颗粒在石英基底表面沉积熔融制备而成。石英玻璃制砣机是制备上述石英玻璃的关键设备，其结构直接影响石英玻璃产品的尺寸、性能和成品率。

石英玻璃具有特殊的光谱透过性能，热膨胀系数低、耐高温、耐激光损伤、耐射线辐照、耐化学腐蚀，在太阳能半导体工业、超大规模集成电路光刻、激光工程、航天工业等领域均具有不可替代的应用优势。随着各领域光学系统对石英玻璃尺寸要求的不断提高，而且通过大尺寸产品取芯应用，有助于提高石英玻璃光学均匀性，因此研制大尺寸石英玻璃的需求剧增。

现有技术中公开了一种合成石英玻璃制砣机，它由上至下依次设置有驱动电机、主轴箱、立柱及底座。在立柱内垂设有滚珠丝杠，该滚珠丝杠的顶端与主轴箱连接，底端固定有轴承座。滚珠丝杠上套设有升降座，升降座上设置有主轴和主轴电机。主轴电机与主轴驱动连接，以驱动主轴转动。主轴上设置有用于安装外部沉积基底的连接部，合成石英玻璃的熔制过程在沉积基底上进行。

在实现上述技术方案的过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题：现有制坨机的立柱会对连接在主轴上的沉积基底的大小产生约束，由于沉积基底的大小受立柱的限制，使得沉积基底可熔制成形的玻璃直径也受限，从而无法制备出大尺寸的石英玻璃。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种石英玻璃制砣机，主要目的在于使制砣机能够制备出大尺寸的石英玻璃。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

本实用新型的实施例提供一种石英玻璃制砣机，包括：

底座；

升降座；

升降机构，设置在所述底座上，所述升降机构的输出端与所述升降座连接，以驱动所述升降座升降；

主轴，可转动地竖直设置在所述升降座上，所述主轴的顶端设有连接部，所述连接部用于安装制备石英玻璃的沉积基底；

其中，所述连接部置于所述石英玻璃制砣机的顶端。

本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的石英玻璃制砣机，其中，所述升降机构包括：

升降丝杠，可升降地竖直设置在所述底座上，所述升降丝杠作为所述升降机构的输出端；

丝杠螺母，套设在所述升降丝杠上，且与所述升降丝杠的外壁螺纹连接，所述丝杠螺母可转动地设置在所述底座上，所述丝杠螺母包括旋转动力输入端；

升降动力装置，其输出端与所述旋转动力输入端驱动连接。

前述的石英玻璃制砣机，其中，

所述底座包括基座和设置在所述基座上的传动箱，所述传动箱具有内腔；

所述升降丝杠穿过所述传动箱；

所述内腔的上腔壁上设有与所述丝杠螺母的上端相适配的第一轴孔，所述内腔的下腔壁上设有与所述丝杠螺母的下端相适配的第二轴孔；

所述丝杠螺母置于所述传动箱内部，所述丝杠螺母的上端插入所述第一轴孔内，所述丝杠螺母的下端插入所述第二轴孔内；

所述丝杠螺母下端的侧壁沿径向向内凹陷形成第一卡台，所述第一卡台与所述第二轴孔的上端面转动配合；

所述丝杠螺母在两端之间的外环壁上设有驱动连接结构，所述驱动连接结构作为所述的旋转动力输入端。

前述的石英玻璃制砣机，还包括：

推力球轴承，设置在所述传动箱内，所述推力球轴承的内圈作为所述的第二轴孔，所述推力球轴承上环的端面作为所述第二轴孔的上端面。

前述的石英玻璃制砣机，其中，

所述升降动力装置包括：

谐波减速机，设置在所述传动箱上，所述谐波减速机包括第一输入端、第二输入端和输出端；所述谐波减速机的输出端作为所述升降动力装置的输出端；

第一升降电机，其输出端与所述第一输入端驱动连接；

第二升降电机，其输出端与所述第二输入端驱动连接。

前述的石英玻璃制砣机，其中，

所述谐波减速机的输出端连接有输出轴；

所述输出轴上固定地套置有主动齿轮；

所述驱动连接结构为齿轮结构；

所述升降动力装置的输出端通过所述主动齿轮与所述驱动连接结构驱动连接。