[实用新型]气体盲端管道

说明书

技术领域

本实用新型涉及气体盲端管道，该气体盲端管道主要用于排放硅烷和氨气，属于工业气体管道技术领域。

背景技术

等离子体化学气相沉积技术原理是利用低温等离子体（非平衡等离子体）作能量源，工件置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电（或另加发热体）使工件升温到预定的温度，然后通进适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在工件表面形成固态薄膜。它包括了化学气相沉积的一般技术，又有辉光放电的强化作用。

硅烷和氨气在密闭的微波环境中，并保持的一定的真空度，能够发生等离子体化学气相沉积反应，在工业中，硅烷和氨气发生的等离子体化学气相沉积反应的设备通常为，通过工业气体管体将硅烷送到内部有氨气的反应腔中，伸入到反应腔中的气体管体为盲端管道，在气体管体的侧壁设置有排气孔，让硅烷能够从排气孔中排出，泄到反应腔中，通过气体管体的末端螺旋拧紧螺钉，实现对气体管体末端的密封，形成盲端。但是这种盲端在使用过程中容易松动、漏气，且由于等离子体化学气相沉积反应的特殊要求，需要在盲端管道表面镀上一层特殊的膜，螺钉拧紧的盲端很容易造成镀膜颜色不均匀，给反应带来不利的影响。

实用新型内容

为了解决上述存在的问题，本实用新型公开了一种气体盲端管道，其具体技术方案如下：

气体盲端管道，该盲端管道用于水平插入到发生等离子体化学气相沉积反应的反应腔中，该盲端管道包括气体管体，所述气体管体的末端焊接固定有密封的金属堵头，所述气体管体位于反应腔内部的部分设置有若干个排气孔，所述所有排气孔均朝向反应腔顶部方向，气体管体中通有硅烷气体或者氨气，硅烷气体或者氨气穿过排气孔进入到反应腔中。

所述气体管体的水平相对外侧分别设置有若干个用于固定气体管体的固定侧耳。

所述若干个排气孔在气体管体的轴向方向呈“一”字形排列，所有的排气孔中任意相邻的排气孔之间的间距相等。

所述气体管体呈矩形管道形状。

所述气体管体的上侧壁和下侧壁均是平整表面，排气孔设置在气体管体的上侧壁的轴向中心线上。

所述气体管体的左右两侧壁均设置成竖直的平整表面，所述固定侧耳固定在气体管体的左右两侧壁的轴向中心线上。

本实用新型的工作原理是：

在等离子体化学气相沉积反应的反应腔中插入一根通入氨气的本气体盲端管道和两根通入硅烷气体的本气体盲端管道，通入氨气的本气体盲端管道与工业氨气管道连通，通入硅烷气体的本气体盲端管道与工业供应硅烷的工业管道连接，通过此三根本气体盲端管道向等离子体化学气相沉积反应的反应腔中排放对应比例关系的氨气和硅烷气体，在反应腔内的环境中，硅烷气体在一定的真空度和微波环境中与氨气发生发生等离子体化学气相沉积反应。

本实用新型在气体管体的末端焊接固定一个金属堵头，金属堵头与气体管体密封固定，有效阻止了气体管体中的硅烷气体或氨气从盲端泄露出来。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过焊接固定金属堵头在气体管体的末端形成管道盲端，通过焊接，金属堵头与气体管体密封性能好，且不会在使用过程中产生松动，在盲端表面的镀层能够始终保持完整，不会因出现裂痕。

且通过焊接金属堵头对气体管体的末端形状要求低，传统的通过旋拧螺钉到气体管体的自由端的方式，首先要在气体管体的自由端设置成圆孔形状，并且在圆孔形状的内壁设置有内螺纹，加工工序复杂，螺纹连接在使用过程中容易产生松动现象。而金属堵头焊接固定，可以根据气体管体的形状，选用与气体管体形状一致的金属堵头，即可将金属堵头与气体管体焊接密封固定。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图，

图2是图1的A向视图，

附图标记列表：1—气体管体，2—固定侧耳，3—金属堵头，4—排气孔。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式，进一步阐明本实用新型。应理解下述具体实施方式仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。