[实用新型]一种坩埚组件及硅芯炉有效
| 申请号: | 201520543268.X | 申请日: | 2015-07-24 |
| 公开(公告)号: | CN204918847U | 公开(公告)日: | 2015-12-30 |
| 发明(设计)人: | 陈辉;刘和松;高影利;袁静;包娜娜;靳秋诚;郭大伟;郁叙法;张礼铭 | 申请(专利权)人: | 北京京运通科技股份有限公司;江阴东升新能源有限公司 |
| 主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06 |
| 代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
| 地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 坩埚 组件 硅芯炉 | ||
1.一种坩埚组件,其特征在于,包括长方体形的坩埚、支撑所述坩埚的垫板,以及盖装在所述坩埚上的护盖,其中,所述垫板上设置有用于卡装固定所述护盖的卡槽。
2.如权利要求1所述的坩埚组件,其特征在于,所述长形体形坩埚的长、宽尺寸比介于于6:1~13:1之间。
3.如权利要求1所述的坩埚组件,其特征在于,所述护盖包括底板以及与所述底板固定连接的四个侧板,且所述四个侧板依次连接并与所述底板围成容纳所述坩埚的长方体形空间。
4.如权利要求3所述的坩埚组件,其特征在于,与所述底板长侧边固定连接的侧板包括两个拼接连接的连接板。
5.如权利要求4所述的坩埚组件,其特征在于,还包括设置在所述两个连接板的拼接处并将所述两个连接板与底板固定连接的加强板。
6.一种硅芯炉,其特征在于,包括如权利要求1~5任一项所述的坩埚组件。
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