[实用新型]一种具有过电保护功能的轻穿通型IGBT芯片结构有效
| 申请号: | 201520450045.9 | 申请日: | 2015-06-29 |
| 公开(公告)号: | CN204706566U | 公开(公告)日: | 2015-10-14 |
| 发明(设计)人: | 张干;王建全;彭彪;王作义;崔永明 | 申请(专利权)人: | 四川广义微电子股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739 |
| 代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 谢敏 |
| 地址: | 629000 四川省遂宁市经济技术开发区内*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 具有 过电 保护 功能 轻穿通型 igbt 芯片 结构 | ||
1.一种具有过电保护功能的轻穿通型IGBT芯片结构,包括若干个呈并联结构的元胞,其特征在于,所述元胞的下表面连接集电极,且向上依次设有集电极金属接触层(1)、第一P+掺杂层(2)、N型缓冲层(3)和N-衬底层(4);
所述元胞的上表面分别连接发射极和栅极,在发射极的下方向下依次设有发射极金属接触层(10)、第二P+掺杂层(9)、P-掺杂层(6)和N型载流子存储层(5),在栅极的下方向下依次设有栅极金属接触层(11)和由多晶硅栅(12)和栅氧化层(13)组成的沟槽栅结构;
所述发射极金属接触层(10)位于两栅极金属接触层(11)之间且间隔设置,所述第二P+掺杂层(9)、P-掺杂层(6)和N型载流子存储层(5)位于两沟槽栅结构之间,且在第二P+掺杂层(9)与栅氧化层(13)之间设有若干个并排的、呈间隔布置的且为长方体结构的N+掺杂块层(7),所述N型载流子存储层(5)和栅氧化层(13)分别与N-衬底层(4)相连。
2.如权利要求1所述的一种具有过电保护功能的轻穿通型IGBT芯片结构,其特征在于:
在两相邻N+掺杂块层(7)之间设有为长方体结构的绝缘块层(8),所述绝缘块层(8)与N+掺杂块层(7)的高度和宽度均相同。
3.如权利要求2所述的一种具有过电保护功能的轻穿通型IGBT芯片结构,其特征在于,所述发射极金属接触层(10)局部连接位于其两侧下方的N+掺杂块层(7)和绝缘块层(8)。
4.如权利要求2所述的一种具有过电保护功能的轻穿通型IGBT芯片结构,其特征在于,所述绝缘块层(8)的长度不小于0.3倍N+掺杂块层(7)的长度且不大于0.6倍N+掺杂块层(7)的长度。
5.如权利要求1所述的一种具有过电保护功能的轻穿通型IGBT芯片结构,其特征在于,所述N+掺杂块层(7)的长宽比为3:2。
6.如权利要求1所述的一种具有过电保护功能的轻穿通型IGBT芯片结构,其特征在于,所述沟槽栅结构的深度大于第二P+掺杂层(9)、P-掺杂层(6)和N型载流子存储层(5)三者的厚度之和且不超过1微米。
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