[实用新型]用于PCB菲林片检测的AOI装置有效
| 申请号: | 201520398115.0 | 申请日: | 2015-06-10 |
| 公开(公告)号: | CN204790307U | 公开(公告)日: | 2015-11-18 |
| 发明(设计)人: | 郭联金;罗炳军;左大利;范四立;彭志伟;劳敬东 | 申请(专利权)人: | 东莞职业技术学院 |
| 主分类号: | G03F1/84 | 分类号: | G03F1/84 |
| 代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 周详 |
| 地址: | 523808 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 pcb 菲林片 检测 aoi 装置 | ||
1.一种用于PCB菲林片检测的AOI装置,其特征在于:所述装置包括机柜(5)、负压产生平台、图像采集装置、图像采集装置驱动机构以及计算机(3),所述负压产生平台位于所述机柜(5)上,用于在计算机(3)的控制下产生吸附PCB菲林片的负压,所述图像采集装置通过所述图像采集装置驱动机构连接在所述负压产生平台上,用于在计算机(3)的控制下对PCB菲林片进行图像采集。
2.根据权利要求1所述的用于PCB菲林片检测的AOI装置,其特征在于:所述装置还包括将负压产生平台和图像采集装置盖合在机柜(5)内的维修舱盖(1)。
3.根据权利要求1所述的用于PCB菲林片检测的AOI装置,其特征在于:所述负压产生平台包括基础平台(26)、支撑机构(27)、负压平台(24)和负压产生组件,所述基础平台(26)位于底部,负压平台(24)通过若干个与基础平台(26)相连接的支撑机构(27)进行支撑,负压产生组件与负压平台(24)相连接,用于在计算机(3)的控制下产生吸附负压平台的动力,负压平台(24)上设有若干个小孔(6)和菲林片定位标识(25)。
4.根据权利要求3所述的用于PCB菲林片检测的AOI装置,其特征在于:所述负压产生组件包括真空泵(17)、真空管(18)和电磁换向阀组件,真空管(18)连接在所述真空泵(17)上,所述电磁换向阀组件位于所述真空管(18)上。
5.根据权利要求4所述的用于PCB菲林片检测的AOI装置,其特征在于:所述电磁换向阀组件包括电磁换向阀(19)、气缸(20)、压力表(21)、气动三联件(22)以及开关阀(23)。
6.根据权利要求3所述的用于PCB菲林片检测的AOI装置,其特征在于:所述负压平台(24)的下底面设有一块平面玻璃。
7.根据权利要求1所述的用于PCB菲林片检测的AOI装置,其特征在于:所述图像采集装置驱动机构包括X轴运动机构和Y轴运动机构,图像采集装置安装在X轴移动机构上,X轴移动机构在计算机的控制下带动图像采集装置沿X轴方向移动;X轴移动机构安装在Y轴移动机构上,Y轴移动机构在计算机的控制下带动X轴移动机构沿Y轴方向移动。
8.根据权利要求7所述的用于PCB菲林片检测的AOI装置,其特征在于:所述X轴运动机构包括X轴伺服电机(14)、X轴同步带(11)和X轴导轨(10),X轴伺服电机(14)驱动X轴同步带(11)沿X轴导轨(10)移动,X轴同步带(11)通过连接片与图像采集装置连接,X轴同步带(11)带动图像采集装置沿X轴方向移动。
9.根据权利要求8所述的用于PCB菲林片检测的AOI装置,其特征在于:Y轴运动机构包括Y轴伺服电机、Y轴同步带(16)和Y轴导轨,Y轴伺服电机驱动Y轴同步带(16)运动,带动X轴运动机构沿Y轴导轨运动,X轴运动机构的两侧通过Y轴滑块安装在Y轴导轨上,X轴移动机构的中部通过丝杆螺母与Y轴丝杆连接,Y轴导轨安装在基础平台上。
10.根据权利要求1所述的用于PCB菲林片检测的AOI装置,其特征在于:所述图像采集装置通过龙门架安装在图像采集装置驱动机构上,所述图像采集装置包括相机(28)、镜头(29)、安装卡座(30)、光源安装环(31)、侧光源安装支架(32)、侧面光源安装平板(33)、侧面LED光源(34)、环状LED光源(35)、激光标定模块(36)和激光标定安装支架(37)。
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G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备





