[实用新型]一种在线检测硅片装置有效
| 申请号: | 201520361671.0 | 申请日: | 2015-05-29 |
| 公开(公告)号: | CN204792704U | 公开(公告)日: | 2015-11-18 |
| 发明(设计)人: | 钱小芳;关统州 | 申请(专利权)人: | 中建材浚鑫科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
| 代理公司: | 江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人: | 王明亮 |
| 地址: | 214400 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 在线 检测 硅片 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及产品检测技术领域,具体地说是一种在线检测硅片装置。
背景技术
随着世界经济的不断发展,现代化建设对高效能源需求不断增长。光伏发电作为绿色能源以及人类可持续发展的主要能源的一种,日益受到世界各国的重视并得到大力发展。单晶或多晶硅片是光伏发电的基础材料,经切片清洗之后,在包装发货之前需要经过分拣,以筛选出不合格的硅片,确保产品重量。为节省人力成本并避免污染硅片,硅片分选机逐步应用于生产线。现有的硅片分选机,或采用视觉系统,或采用光纤感应器,仅能从外观上测试硅片是否为碎片,而不能发现硅片内部的隐裂。具有隐裂缺陷的硅片被包装发货,直接影响成品的合格率。硅片是生成硅系太阳能电池的原材料,在生产硅系太阳能电池过程中,不可避免地会在小的板块上施加外力,有时在板块的表面上就会出现长短、方向各不相同的裂纹。这些带有裂纹的电池板,一旦被装配到太阳能电池组中,就会严重影响整个电池模块的性能。在传统的生产过程中,这些硅片的完好性主要靠人眼检测。这种人工检测的方法不但费时费力,而且由于硅片材料的特殊性,经常会出现漏检的现象,这就给提高产品的质量带来了困难。因此有必要设计一种自动检测系统,可以对硅片的完好性进行无接触、无损伤地检测,将带有裂纹的坏片自动分离出来。
因此,业界需要一种在线检测硅片装置,以期能够更好地控制激光切割装置。
实用新型内容
为克服现有技术的不足,本实用新型的目的是:提供一种在线检测硅片装置,该检测装置可以对硅片的完好性进行无接触、无损伤地检测,将带有裂纹的坏片自动分离出来。
为了解决背景技术中的技术问题,本实用新型提供了一种在线检测硅片装置,包括外壳、第一感应器、第二感应器、轨道转换门、检测头、第一传送轨道和第二传送轨道,所述外壳设置于第一传送轨道上,所述外壳上设有观察门,所述检测头设置于外壳内侧顶部中心位置,检测头正对的第一传送轨道上设有第一感应器,所述第二传送轨道设置于第一传送轨道下方,且与第一传送轨道连接处设有轨道转换门,轨道转换门上设有第二感应器。
具体地,所述外壳为高透明玻璃。
具体地,所述观察门上设有把手。
具体地,所述检测头检测的范围覆盖外壳底面所有部分。
具体地,所述第二传送轨道出口处连接一回收箱。
采用上述技术方案,本实用新型具有如下有益效果:提供一种在线检测硅片装置,该检测装置可以对硅片的完好性进行无接触、无损伤地检测,将带有裂纹的坏片自动分离出来。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其它附图。
图1是本实用新型实施例提供的一种在线检测硅片装置示意图;
其中,图中附图标记对应为:1-外壳,2-第一传感器,3-检测头,4-第一传送轨道,5-第二传送轨道,6-第二感应器,7-观察门,8-轨道转换门,9-把手,10-回收箱。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
实施例1:图1为本实用新型实施例提供的一种在线检测硅片装置示意图,图中可以清晰地看出一种在线检测硅片装置,包括外壳1、第一感应器2、第二感应器6、轨道转换门8、检测头3、第一传送轨道4和第二传送轨道5,所述外壳设置于第一传送轨道4上,所述外壳1上设有观察门7,所述检测头3设置于外壳1内侧顶部中心位置,检测头正对的第一传送轨道4上设有第一感应器2,所述第二传送轨道5设置于第一传送轨道4下方,且与第一传送轨道4连接处设有轨道转换门8,轨道转换门8上设有第二感应器6。
具体地,所述外壳1为高透明玻璃。
具体的,所述观察门7上设有把手9。
具体的,所述检测头3检测的范围覆盖外壳1底面所有部分。
具体的,所述第二传送轨道5出口处连接一回收箱10。
本实用新型提供的一种在线检测硅片装置,该检测装置可以对硅片的完好性进行无接触、无损伤地检测,将带有裂纹的坏片自动分离出来。
以上所述是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也视为本实用新型的保护范围。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中建材浚鑫科技股份有限公司,未经中建材浚鑫科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201520361671.0/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种检测薄膜太阳能电池刻蚀效果的装置
- 下一篇:电离室测量体积调节装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





