[实用新型]一种半导体烘箱氮气调节装置

权利要求书

1.一种半导体烘箱氮气调节装置，包括箱体、前门、支架，其特征在于还包括内胆、进气接口、氮气调节阀、进气管、出气接口、出气管、引风机、托盘，所述的前门位于箱体前端，所述的前门与箱体铰链相连，所述的支架位于箱体外壁底部，所述的支架与箱体焊接相连，所述的内胆位于箱体内部，所述的内胆与箱体焊接相连，所述的进气接口位于箱体外壁底部中心，所述的进气接口与箱体焊接相连，所述的氮气调节阀位于进气接口下端，所述的氮气调节阀与进气接口螺纹相连，所述的进气管位于氮气调节阀下端，所述的进气管与氮气调节阀螺纹相连，所述的出气接口位于内胆外壁中心处，所述出气接口与内胆焊接相连，所述的出气管位于出气接口上端，所述的出气管与出气接口螺纹相连，所述的引风机位于出气管末端，所述的引风机与出气管螺纹相连，所述的托盘位于内胆内部，所述的托盘与内胆滑动相连。

2.如权利要求1所述的半导体烘箱氮气调节装置，其特征在于所述的内胆内壁左右两侧还设有氮气吹入孔，所述的氮气吹入孔为若干件，均布与内胆内壁。

3.如权利要求2所述的半导体烘箱氮气调节装置，其特征在于所述的托盘数量为若干件，所述的托盘数量优选为3件，均布与内胆内壁。

4.如权利要求3所述的半导体烘箱氮气调节装置，其特征在于所述的托盘还设有半导体放置槽，所述半导体放置槽贯穿托盘主体，所述半导体放置槽为若干件，均布于托盘表面。

5.如权利要求4所述的半导体烘箱氮气调节装置，其特征在于所述的氮气调节阀还包括第一阀体、第二阀体、直线电机、丝杠、阀芯，所述的第二阀体位于第一阀体上端，所述的第二阀体与第一阀体螺纹相连，所述的直线电机位于第一阀体上端且位于第二阀体上端，所述的直线电机与第一阀体螺纹相连且与第二阀体螺纹相连，所述的丝杠贯穿直线电机，所述的丝杠与直线电机螺纹相连，所述的阀芯位于丝杠一端，所述的阀芯与丝杠紧配相连。

6.如权利要求5所述的半导体烘箱氮气调节装置，其特征在于所述的第一阀体还设有凹槽，所述的第一阀体凹槽内粘接密封圈。