[实用新型]一种超声喷雾热解镀膜装置

权利要求书

1.一种超声喷雾热解镀膜装置，包括气柜（1）、超声雾化装置、喷雾头、和带基片（2）的加热台（3），其特征是：所述气柜（1）通过进气管（4）与超声雾化装置连通，所述超声雾化装置通过管道（5）与喷雾头连通，所述喷雾头位于加热台（3）方且与加热台（3）相对应，在所述加热台（3）下方设置有XY移动平台（13），在所述超声雾化装置外设置有冷却装置。

2.如权利要求1所述的超声喷雾热解镀膜装置，其特征是：所述冷却装置包括双层杯体冷却桶（6），在所述双层杯体之间具有冷却腔（7），在所述冷却桶（6）的上部和下部分别设置有与冷却腔（7）连通的冷却水出水口（8）和冷却水进水口（9），所述超声雾化装置位于冷却桶（6）内。

3.如权利要求2所述的超声喷雾热解镀膜装置，其特征是：所述超声雾化装置包括均位于冷却桶（6）内的料杯（10）和超声雾化器（11），所述超声雾化器（11）位于料杯（10）的下方，所述料杯（10）具有密封盖（12），所述进气管（4）和管道（5）均穿过密封盖（12）且与料杯（10）连通。

4.如权利要求3所述的超声喷雾热解镀膜装置，其特征是：所述喷雾头包括圆柱形中空喷头体（14），在所述喷头体（14）的下端设置有穿过喷头体（14）的喷雾嘴（15），所述喷雾嘴（15）的上部与喷头体（14）下部的内腔构成存水槽（16），在所述喷头体（14）的下部设置有与存水槽（16）连通的出水口（17），所述出水口（17）通过橡胶管（18）与设置的废液杯（19）连接。

5.如权利要求4所述的超声喷雾热解镀膜装置，其特征是：所述管道（5）通过管夹（20）与竖直设置的丝杠滑台（21）连接。