[实用新型]一种新型的MOCVD喷淋头清洁用刷头

权利要求书

1.一种新型的MOCVD喷淋头清洁用刷头，其特征在于，包括：快速抽气圆环(11)、软圆环挡圈(12)、内抽气通道(31)及刷头毛须(21)；所述新型结构与其后端配置的抽速调节阀(41)联合使用，能把清洁喷淋头时掉落的所有III-V化合物颗粒和灰尘瞬间抽走，从而使MOCVD反应器保持良好的生长环境。

2.根据权利要求1所述一种新型的MOCVD喷淋头清洁用刷头，其特征在于，所述快速抽气圆环(11)，围绕在内抽气通道(31)及刷头毛须(21)外部，其圆环的径向厚度，可依据刷头的直径等尺寸而设计，最优为刷头直径的十分之一至三分之二。

3.根据权利要求1所述一种新型的MOCVD喷淋头清洁用刷头，其特征在于，所述快速抽气圆环(11)，可以是单一结构或者多重结构；所述快速抽气圆环(11)，可与单一内抽气通道(31)、刷头毛须(21)配套，并与软圆环挡圈(12)组成为单刷头；也可与2个或2个以上的内抽气通道(31)、刷头毛须(21)各自配套组成2个或2个以上的单刷头，再与多刷头间快速抽气通道(61)、软圆环挡圈(12)组成为集成刷头。

4.根据权利要求1所述一种新型的MOCVD喷淋头清洁用刷头，其特征在于，所述软圆环挡圈(12)，则外绕在快速抽气圆环(11)的顶端与喷淋头相接触处，作为防护圈，用来防止泄漏、增加吸力。

5.根据权利要求1所述一种新型的MOCVD喷淋头清洁用刷头，其特征在于，所述内抽气通道(31)，其形状可以为圆形，椭圆形，三角形或者多边形，也可以是其中几种形状的组合。

6.根据权利要求1所述一种新型的MOCVD喷淋头清洁用刷头，其特征在于，所述内抽气通道(31)，在集成刷头中，可以设置2个或2个以上；其中置于小刷头内的，成为各小刷头的内抽气通道，而在各小刷头外围的，则成为多刷头间快速抽气通道(61)。