[实用新型]改进型级联阶梯型角反射镜激光干涉仪

权利要求书

1.一种改进型级联阶梯型角反射镜激光干涉仪，包括激光源(1)、分光镜(2)、阶梯型直角反射镜组(3)、移动直角反射镜(4)、光电探测器组(5)、微动平台(6)，其特征在于：

所述激光源(1)包括n个平行激光束，其中n≥2，所述光电探测器组(5)包括n个光电探测器；

所述阶梯型直角反射镜组(3)包括m个阶梯型直角反射镜与m-1个常规直角反射镜配对组成，其中m≥2，每个所述阶梯型直角反射镜的反射面为n个成阶梯形的反射平面，相邻两个所述反射平面间距为其中k为自然数、λ为激光源(1)发出的激光波长；

所述阶梯型直角反射镜组(3)中至少一个阶梯型直角反射镜或常规直角反射镜一端连接有可移动微动平台(6)；

所述激光源(1)发出的激光经过所述分光镜(2)，经反射后每束激光分别射入所述阶梯型直角反射镜组(3)，经所述阶梯型直角反射镜组(3)内部反射后将激光反射到对应的每个所述光电探测器；所述激光源(1)发出的激光经过所述分光镜(2)，直接透射的每束激光分别入射到所述移动直角反射镜(4)后反射到对应的每个光电探测器。

2.根据权利要求1所述的改进型级联阶梯型角反射镜激光干涉仪，其特征在于，当k＝0，所述阶梯型直角反射镜组(3)中的阶梯型直角反射镜的反射阶梯面上相邻两个反射平面的间距相等，均等于其中λ为激光源(1)发出的激光波长。

3.根据权利要求1所述的改进型级联阶梯型角反射镜激光干涉仪，其特征在于， 所述阶梯型直角反射镜组(3)中所有阶梯型直角反射镜均固定在可移动所述微动平台(6)上。

4.根据权利要求3所述的改进型级联阶梯型角反射镜激光干涉仪，其特征在于，所述阶梯型直角反射镜组(3)包括三个，即阶梯型直角反射镜一(31)、阶梯型直角反射镜二(32)、直角反射镜三(33)，其中所述阶梯型直角反射镜一(31)、阶梯型直角反射镜二(32)平行设置并连接在所述微动平台(6)上，所述直角反射镜三(33)相对所述阶梯型直角反射镜一(31)、阶梯型直角反射镜二(32)设置。

5.根据权利要求1-4任一所述的改进型级联阶梯型角反射镜激光干涉仪，其特征在于，所述微动平台(6)为压电陶瓷。

6.根据权利要求5所述的改进型级联阶梯型角反射镜激光干涉仪，其特征在于，所述激光源(1)发射出的n个激光束等距分布，且相邻两个激光束的间距等于激光波长的整数倍。

7.根据权利要求6所述的改进型级联阶梯型角反射镜激光干涉仪，其特征在于，所述激光源(1)发出的相邻两个激光束之间的间距均为100-10000倍的激光波长。