[实用新型]一种非晶锗硅薄膜太阳能电池芯片的硅粉清除装置

权利要求书

1.一种非晶锗硅薄膜太阳能电池芯片的硅粉清除装置，包括运载芯片的输送带（1），其特征在于：还包括用于除去硅粉的吹扫装置、用于配合所述吹扫装置除去硅粉的集尘装置和用于在所述集尘装置之后除去残余硅粉的粘附装置。

2.根据权利要求1所述的一种非晶锗硅薄膜太阳能电池芯片的硅粉清除装置，其特征在于：所述吹扫装置包括外置机箱、连接于所述外置机箱的通风管（2）和连接于所述通风管（2）的风刀装置。

3.根据权利要求2所述的一种非晶锗硅薄膜太阳能电池芯片的硅粉清除装置，其特征在于：所述风刀装置包括固定架（3）和连接于所述固定架（3）上的本体（4），所述本体（4）包括出风部和进风部，气流进入所述进风部时的方向与气流喷出所述出风部的方向所成角度范围为90~135°。

4.根据权利要求3所述的一种非晶锗硅薄膜太阳能电池芯片的硅粉清除装置，其特征在于：所述出风部包括上风刀片（41）和下风刀片（42），所述上风刀片（41）与所述下风刀片（42）构成出风腔体和出风嘴（43），所述出风腔体至所述出风嘴的空间体积逐渐减小；所述进风部包括连接于所述上风刀片（41）及所述下风刀片（42）的外壳（44）和设于所述外壳（44）上的进风口（45），所述外壳（44）构成与所述出风腔体连通的进风腔体；所述进风口（45）的进风方向与所述出风嘴（43）的出风方向所成角度范围为90~135°。

5.根据权利要求4所述的一种非晶锗硅薄膜太阳能电池芯片的硅粉清除装置，其特征在于：所述进风腔体与所述出风腔体之间具有用于引导气流的过渡面（46），所述过渡面（46）呈弧面或平面。

6.根据权利要求2所述的一种非晶锗硅薄膜太阳能电池芯片的硅粉清除装置，其特征在于：所述外置机箱包括箱体（5）、设于所述箱体（5）上的进风区（51）、设于所述箱体（5）上的滤尘器（52）、设于所述箱体（5）内的风腔（53）和设于所述风腔（53）中与所述通风管（2）连接的风机（54）。

7.根据权利要求6所述的一种非晶锗硅薄膜太阳能电池芯片的硅粉清除装置，其特征在于：所述风腔（53）或所述风机（54）中还设有用于加热空气的加热器。

8.根据权利要求7所述的一种非晶锗硅薄膜太阳能电池芯片的硅粉清除装置，其特征在于：所述风腔（53）或所述风机（54）中还设有用于电离空气的离子发生器。

9.根据权利要求1所述的一种非晶锗硅薄膜太阳能电池芯片的硅粉清除装置，其特征在于：所述集尘装置包括设于所述输送带（1）两侧用于包围所述输送带（1）的防护罩（6）、设于所述防护罩（6）上位于所述输送带（1）上方的吸尘罩（61）和连通于所述吸尘罩（61）的集尘管道（62）。

10.根据权利要求1所述的一种非晶锗硅薄膜太阳能电池芯片的硅粉清除装置，其特征在于：所述粘附装置包括设于所述输送带（1）上的悬架（7）、设于所述悬架（7）上的转筒（71）和包覆于所述转筒（71）上的粘尘带（72）。