[发明专利]一种碳化硅薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种碳化硅薄膜的制备方法，其特征在于具体制备步骤为：

（1）分别将100～150g的硝酸镁，120～150g的硝酸镍溶解于2～3L的蒸馏水中，随后加入硝酸镁质量20～30％的尿素，对其搅拌直至混合均匀后，再向其加入质量分数为30％的氢氧化钠溶液，调节其pH至6.6～7.0，并将该溶液置于水热釜中进行水热反应，控制温度120～150℃，反应2～3min后，使其冷却至室温；

（2）将上述冷却至室温的混合物过滤，并利用乙酸乙酯洗涤分散过滤得到的滤饼，将其与硅酸钠按质量比1:1进行混合搅拌，控制搅拌速度为1200～1500r/min，搅拌30～45min后，在温度为15～20℃下，缓慢滴加质量分数为35％的盐酸，滴加的量与硅酸钠的质量比为1:3，待滴加完成后，对其进行油浴加热55～60℃，反应40～45min，使其冷却至室温，并在搅拌的同时向其通入CO₂气体，直至溶液中的pH为4～5；

（3）将上述pH为4～5的混合溶液进行喷雾干燥，控制进口温度为200～250℃，出口温度为80～90℃，待喷雾干燥结束后，将干燥后的混合物置于马弗炉中煅烧，控制温度为500～600℃，煅烧30～45min后，向马弗炉中通入氢气，控制通入氢气的流量为0.02～0.06L/min，通入的量与混合物的质量比为1:100；

（4）待通入结束后，提高马弗炉的温度至700～800℃后，再向其通入碳粉，通入的量与上述干燥后的干燥物的质量比为2:1，控制通入碳粉的流量为0.03～0.05L/min，待碳粉通入结束后，使其继续反应40～50min，保温1～2h；

（5）待保温结束后，取出马弗炉中形成的粗碳化硅薄膜，使其冷却至室温后，再置于频率为80～100Hz的超声波中超声0.5～1.0h，即可形成碳化硅薄膜。