[发明专利]MEMS传感器组合温度漂移误差补偿方法

权利要求书

1.MEMS传感器组合温度漂移误差补偿方法，其特征是：至少包括如下步骤：

步骤1：给MEMS传感器组合加电启动；

步骤2：延时1分钟；

步骤3：读取MEMS传感器组合启动时刻温度T₀，并存贮到缓存器；

步骤4：查表获取与当前温度值对应的误差修定值；

步骤5：用步骤4的修定值修正MEMS传感器组合输出值；

步骤6：延时2分钟；

步骤7：读取MEMS传感器组合当前温度T_n，用读取的当前温度值与缓存器温度值进行比较，温度变化值小于2℃时，重返步骤6；温度变化值大于2℃时，将读取的当前温度值存入缓存器，代替上次的温度值，然后进行下一步；

步骤8：计算本次时间间隔内MEMS传感器输出与温度变化率有关的误差修定值；

步骤9：计算本次时间间隔内MEMS传感器输出与温度变化二次方有关的误差修定值；

步骤10：计算本次时间间隔内的误差修定总值；

步骤11：用步骤10修定值修正MEMS传感器组合输出值，重返步骤6。

2.要据权利要求1所述的所述的MEMS传感器组合温度漂移误差补偿方法，其特征是：步骤8：计算本次时间间隔内MEMS传感器输出与温度变化率有关的误差修定值是通过如下公式完成：

C1(T_n)＝K₁·△T_n(1)

其中，K₁是MEMS传感器组合输出与温度变化率有关的误差系数，对于一个MEMS传感器组合是已知的量，但每一台MEMS传感器组合产品的K₁值是有差异的；△T_n是前后两次时间间隔温度的差值。

3.要据权利要求1所述的所述的MEMS传感器组合温度漂移误差补偿方法，其特征是：所述的步骤9是通过如下公式完成：

C2(T_n)＝2K₂·T_n·△T_n(2)

其中，K₂是MEMS传感器组合输出与温度变化率平方有关的误差系数，对于一个MEMS传感器组合是已知的量，但每一台MEMS传感器组合产品的K₂值是有差异的；T_n是当前温度值，△T_n是前后两次时间间隔温度的差值。

4.要据权利要求1所述的所述的MEMS传感器组合温度漂移误差补偿方法，其特征是：所述的步骤10是通过如下公式完成：

C＝C2(T_n)+C1(T_n)(3)。

5.要据权利要求1所述的所述的MEMS传感器组合温度漂移误差补偿方法，其特征是：所述的步骤11是通过步骤10修定值修正MEMS传感器组合输出值。