[发明专利]X射线探测器及其制造方法有效
| 申请号: | 201510728002.7 | 申请日: | 2015-10-30 |
| 公开(公告)号: | CN106618617B | 公开(公告)日: | 2021-12-21 |
| 发明(设计)人: | 袁大洋;张宏业 | 申请(专利权)人: | 通用电气公司 |
| 主分类号: | A61B6/00 | 分类号: | A61B6/00 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 张东梅 |
| 地址: | 美国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 射线 探测器 及其 制造 方法 | ||
1.一种X射线探测器的制造方法,包括:
形成X射线-可见光转化层,所述X射线-可见光转化层下依次设有光-电转化层以及信号处理层;
在所述X射线-可见光转化层上设置软性绝缘材料以形成保护层;以及,
在所述保护层上形成能够弯曲的滤线栅层,其包括在所述保护层上设置一层X射线吸收膜,在所述X射线吸收膜上蚀刻形成滤线栅,或者在所述保护层上进行3D打印形成滤线栅,或者将通过3D打印形成的滤线栅设置在所述保护层上。
2.根据权利要求1所述的X射线探测器的制造方法,其特征在于,所述软性绝缘材料包括碳纤维。
3.根据权利要求2所述的X射线探测器的制造方法,其特征在于,在进行3D打印形成滤线栅时采用的材料包括硫酸钡。
4.根据权利要求3所述的X射线探测器的制造方法,其特征在于,所述″在所述保护层上形成能够弯曲的滤线栅层″的步骤之后还包括:
对所述滤线栅层的滤线栅进行切割,以使所述滤线栅层的滤线栅的宽度小于特定值。
5.根据权利要求1的所述的X射线探测器的制造方法,其特征在于,所述″在所述保护层上形成能够弯曲的滤线栅层″的步骤包括:
将所述滤线栅层构造为能够在特定部位进行弯曲。
6.一种X射线探测器,其包括X射线-可见光转化层,所述X射线-可见光转化层下依次设置的光-电转化层以及信号处理层;
所述X射线-可见光转化层上设置由软性绝缘材料层形成的保护层以及,
在所述保护层上形成的能够弯曲的滤线栅层,该滤线栅层包括在X射线吸收膜上蚀刻形成的滤线栅或由3D打印形成的滤线栅。
7.根据权利要求6所述的X射线探测器,其特征在于,所述滤线栅层的高度不超过1毫米。
8.根据权利要求6所述的X射线探测器,其特征在于,所述滤线栅层上的每个滤线栅的宽度不超过200微米。
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