[发明专利]一种冷热腔可控温加热支撑架在审

专利信息
申请号: 201510719417.8 申请日: 2015-10-29
公开(公告)号: CN106653646A 公开(公告)日: 2017-05-10
发明(设计)人: 吕光泉;吴凤丽;郑英杰;张建 申请(专利权)人: 沈阳拓荆科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/683
代理公司: 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙)21229 代理人: 陈福昌
地址: 110179 辽宁省*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 冷热 可控 加热 支撑架
【权利要求书】:

1.一种冷热腔可控温加热支撑架,其特征在于,该加热支撑架包括加热支撑架上盘体,陶瓷柱,分隔板,加热支撑架下盘体,固定螺母;所述加热支撑架上盘体上设有陶瓷柱孔,加热支撑架上盘体的下盘面边缘设有凸台A,陶瓷柱孔边缘设有凸台B,加热支撑架上盘体的下盘面中央位置设有凸台C,所述凸台C处设有热媒通道进口端,热媒通道出口端与热电偶孔;分隔板上设有分隔板陶瓷柱孔,分隔板媒介进口,分隔板媒介出口与分隔板热电偶孔;加热支撑架下盘体上设有通孔,加热支撑架下盘体上盘面的边缘设有凸台D,通孔的边缘设有凸台E,加热支撑架下盘体上盘面的中央位置设有凸台F,凸台F处设有下盘体媒介进口,下盘体媒介出口,热电偶螺纹孔,冷媒进口与冷媒出口;

所述分隔板和加热支撑架下盘体通过焊接后中间形成一个空腔,用以进行冷循环媒介循环,为冷腔;然后再将加热支撑架上盘体与其焊接,形成另一个空腔,用以进行热循环媒介循环,为热腔;然后将陶瓷柱穿过陶瓷柱孔、分隔板陶瓷柱孔与通孔内,通过固定螺母对陶瓷柱进行固定。

2.如权利要求1所述的一种冷热腔可控温加热支撑架,其特征在于,所述凸台A、凸台B、凸台C、凸台D、凸台E与凸台F的高度相等。

3.如权利要求1所述的一种冷热腔可控温加热支撑架,其特征 在于,所述热电偶孔、分隔板热电偶孔与热电偶螺纹孔的位置与大小均相互对应。

4.如权利要求1所述的一种冷热腔可控温加热支撑架,其特征在于,所述陶瓷柱孔、分隔板陶瓷柱孔与通孔的位置与大小均相互对应。

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