[发明专利]可循环使用的掩模板板框及具有它的掩模板有效
| 申请号: | 201510705296.1 | 申请日: | 2015-10-27 |
| 公开(公告)号: | CN105200370A | 公开(公告)日: | 2015-12-30 |
| 发明(设计)人: | 唐军 | 申请(专利权)人: | 唐军 |
| 主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司: | 广州市南锋专利事务所有限公司 44228 | 代理人: | 郑学伟;叶利军 |
| 地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 循环 使用 模板 具有 | ||
1.一种可循环使用的掩模板板框,其特征在于,包括:
框体,所述框体的中央形成镂空区,所述镂空区的外围形成框沿,所述框沿的顶面设有固定孔;
连接块,所述连接块以可拆卸方式固定于所述固定孔内,且所述连接块具有一适于与掩模板膜片贴附的贴合面。
2.根据权利要求1所述的可循环使用的掩模板板框,其特征在于,所述框沿的顶面的内侧边高于外侧边且围合形成一用于支撑所述掩模板膜片的支撑平面,所述支撑平面高于所述贴合面。
3.根据权利要求2所述的可循环使用的掩模板板框,其特征在于,所述板框的顶面为斜面。
4.根据权利要求1所述的可循环使用的掩模板板框,其特征在于,还包括:
锁紧螺栓,所述锁紧螺栓设置于所述框沿上,以将所述连接块固定锁紧于所述固定孔内。
5.根据权利要求4所述的可循环使用的掩模板板框,其特征在于,所述固定孔为盲孔,所述盲孔的底面设置贯穿至所述框沿的底面的通孔;所述连接块的底部设有螺纹孔,所述锁紧螺栓自所述通孔穿入至所述盲孔与所述螺纹孔螺纹连接。
6.根据权利要求1所述的可循环使用的掩模板板框,其特征在于,所述固定孔为多个,多个所述固定孔沿所述框沿周向布置,于每个所述固定孔内分别设置一所述连接块。
7.根据权利要求3所述的可循环使用的掩模板板框,其特征在于,所述斜面的倾角为5-15°。
8.根据权利要求1所述的可循环使用的掩模板板框,其特征在于,所述镂空区的横向截面和纵向截面均为上窄下宽的梯形。
9.一种掩模板,其特征在于,包括:
掩模板膜片,所述掩模板膜片的中央设有蒸镀孔;
及如权利要求1至8中任一项所述的可循环使用的掩模板板框,所述连接块的贴合面与所述掩模板膜片焊接。
10.根据权利要求9所述的掩模板,其特征在于,所述掩模板膜片及掩模板板板框为镍钴合金、镍铁合金、铟瓦合金材质中的任意一种。
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