[发明专利]一种电子系统多轴结构在审
| 申请号： | 201510701660.7 | 申请日： | 2015-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN105300369A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 马国才;赵丽 | 申请（专利权）人： | 马国才 |
| 主分类号： | G01C19/5712 | 分类号： | G01C19/5712;G01P15/18 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 周玉红 |
| 地址： | 541004 广西壮*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电子 系统 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一电子系统多轴结构，其特征在于：包括静电振动器(1)、静电致动器(2)、基板(3)，所述静电振动器(1)上设置有静电致动器(2)，所述静电振动器(1)上端连接着基板(3)下端，所述基板(3)上端连接着绝缘膜(4)的下端，所述绝缘膜(4)上端连接着基底层(5)输入端，所述基底层(5)设置在保护膜(6)下端，所述保护膜(6)下端设置有MEMS结构体(7)，所述MEMS结构体(7)下端连接着机械可动部位(8)上输入端，所述机械可动部位(8)下方设置着刚性构件(9)，所述刚性构件(9)连接着卡式螺母(10)。
2.根据权利要求1所述的一电子系统多轴结构，其特征在于：所述卡式螺母(10)下方设置有惯性传感器(11)，所述刚性构件(9)外端设置有电极定子框架(12),所述电极定子框架(12)下端连接单个中心锚(13)。
3.根据权利要求1所述的一电子系统多轴结构，其特征在于：所述基板(3)上端放置着惯性传感器(11)，所述惯性传感器(11)上端连接着刚性构件(9)下端。
4.根据权利要求1所述的一电子系统多轴结构，其特征在于；所述保护膜(6)在刚性构件(9)的正上方，所述刚性构件(9)的外端设置有绝缘膜(4)，所述绝缘膜(4)内部设置着三轴陀螺仪(14)。
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