[发明专利]一种用于SiC外延的耐高温水平多层进气装置

权利要求书

1.一种用于SiC外延的耐高温水平多层进气装置，包括由内至外依次同轴套设的内水套组件（1）、进气组件（2）和安装法兰（3），其特征在于，所述进气组件（2）包括同轴间隔套设的多层进气圈（20）和密封环（4），多层进气圈（20）由外至内逐层伸长，每一个进气圈（20）的顶端均开设进气口（200），末端沿径向向外卷折形成喇叭口状的卷折面（210），进气口（200）的周缘焊接密封环（4），所述多个密封环（4）均设置于安装法兰（3）的外侧且多个密封环（4）之间、最外层的密封环（4）与安装法兰（3）之间均间隔布置。

2.根据权利要求1所述的用于SiC外延的耐高温水平多层进气装置，其特征在于，所述最外层进气圈（20）的卷折面（210）向上延伸形成深槽（5），所述安装法兰（3）覆盖于深槽（5）上并与深槽（5）的外周缘配合焊接固定，所述安装法兰（3）上设有与深槽（5）连通的进水孔。

3.根据权利要求1所述的用于SiC外延的耐高温水平多层进气装置，其特征在于，所述内水套组件（1）包括将冷却水和高温工艺气体隔开的套筒（11），所述套筒（11）一体成型且间隔套设于最内层的进气圈（20）内，所述套筒（11）的一端相对于最内层的进气圈（20）向外伸出，另一端呈喇叭口状结构布置于最内层进气圈（20）的卷折面（210）下方。

4.根据权利要求3所述的用于SiC外延的耐高温水平多层进气装置，其特征在于，所述内水套组件（1）还包括套筒封板（12）、管道（13）和分水板（14），所述套筒（11）的喇叭口底部封装套筒封板（12）以形成冷却腔，所述管道（13）沿轴向插设于冷却腔至套筒封板（12）上方，所述分水板（14）沿平行于套筒封板（12）的方向套设于管道（13）的一端，所述管道（13）的另一端与套筒（11）之间套设套筒封环（15），所述套筒封环（15）上设有与冷却腔连通的通孔。

5.根据权利要求3所述的用于SiC外延的耐高温水平多层进气装置，其特征在于，所述多层进气圈（20）的卷折面（210）延伸至出气口（220）处齐平，相邻两层进气圈（20）之间、最内层进气圈（20）与套筒（11）之间形成进气通道，所述进气通道与进气口（200）、出气口（220）均连通。

6.根据权利要求5所述的用于SiC外延的耐高温水平多层进气装置，其特征在于，每一个所述出气口（220）的周缘对应焊接一个匀气环（230），所述匀气环（230）上开设若干与进气通道连通的匀气通孔。

7.根据权利要求1所述的用于SiC外延的耐高温水平多层进气装置，其特征在于，每一个所述进气口（200）包括沿进气圈（20）的周缘均匀阵列的若干进气孔。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的用于SiC外延的耐高温水平多层进气装置，其特征在于，所述进气组件（2）包括三层进气圈（20），所述三层进气圈（20）由外至内依次为外层进气圈（21）、中层进气圈（22）和内层进气圈（23），所述外层进气圈（21）的顶端、中层进气圈（22）的顶端以及内层进气圈（23）的顶端均与对应的密封环（4）齐平。