[发明专利]拼版蒸镀掩模

权利要求书

1.一种拼版蒸镀掩模，其在框体内的开口空间配置多个掩模而构成，其特征在于，

各所述掩模具有：设有缝隙的金属掩模、位于所述金属掩模的表面且配置有与要蒸镀制作的图案对应的开口部的树脂掩模，

所述框体由外框部分和梁部分构成，

在所述框体上，在该框体的所述外框部分、梁部分的任一部分接合有多个小框部件，

并且，在所述多个小框部件的每一个上安装有所述掩模。

2.如权利要求1所述的拼版蒸镀掩模，其特征在于，

所述框体由外框部分、和纵向梁部分及横向梁部分的任一方或双方构成，

在所述框体上，在该框体的所述外框部分、纵向梁部分、横向梁部分的任一部分接合有多个小框部件。

3.如权利要求1所述的拼版蒸镀掩模，其特征在于，

在所述金属掩模上设有多个所述缝隙。

4.如权利要求1所述的拼版 蒸镀掩模，其特征在于，

所述缝隙通过桥接器而被分割。

5.如权利要求1所述的拼版 蒸镀掩模，其特征在于，

所述金属掩模为磁性体。

6.如权利要求1所述的拼版 蒸镀掩模，其特征在于，

所述开口部的截面形状朝向蒸镀源方向而扩展。

7.如权利要求1所述的拼版 蒸镀掩模，其特征在于，

在从横截面观察以所述树脂掩模为下、所述金属掩模为上的方式配置的所述掩模时，由将所述树脂掩模的所述开口部的下底前端与上底前端连接的直线、和所述树脂掩模的下底的直线构成的角度为25°以上且65°以下。

8.如权利要求1所述的拼版 蒸镀掩模，其特征在于，

所述缝隙的截面形状朝向蒸镀源方向而扩展。

9.如权利要求1所述的拼版 蒸镀掩模，其特征在于，

在从横截面观察以所述树脂掩模为下、所述金属掩模为上的方式配置的所述掩模时，由将所述金属掩模的所述缝隙的下底前端与上底前端连接的直线、和所述金属掩模的下底的直线构成的角度为25°以上且65°以下。

10.如权利要求1所述的拼版 蒸镀掩模，其特征在于，

所述金属掩模的厚度为5μm以上且100μm以下。

11.如权利要求1所述的拼板蒸镀掩模，其特征在于，

所述树脂掩模的厚度为3μm以上且25μm以下。

12.如权利要求1所述的拼版 蒸镀掩模，其特征在于，

所述树脂掩模的厚度为4μm以上且8μm以下。

13.如权利要求1所述的拼版 蒸镀掩模，其特征在于，

构成所述树脂掩模的材料的热膨胀系数为16ppm/℃以下。

14.如权利要求1所述的拼版 蒸镀掩模，其特征在于，

构成所述树脂掩模的材料的吸湿率为1.0％以下。

15.如权利要求1所述的拼版 蒸镀掩模，其特征在于，

构成所述树脂掩模的材料的热膨胀系数为16ppm/℃以下、且吸湿率为1.0％以下。