[发明专利]一种稳定的不连续蒸发镀锡方法在审
| 申请号: | 201510654233.8 | 申请日: | 2015-10-10 |
| 公开(公告)号: | CN105296939A | 公开(公告)日: | 2016-02-03 |
| 发明(设计)人: | 王寒骁;席锦华 | 申请(专利权)人: | 江苏新思达电子有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 215500 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 稳定 连续 蒸发 镀锡 方法 | ||
技术领域
本发明属于涂装及真空镀膜技术领域,涉及一种蒸发镀锡方法,具体涉及一种稳定的不连续蒸发镀锡方法。
背景技术
锡是一种略带蓝色的白色光泽的低熔点金属元素。早在远古时代,人们便发现并使用锡了。锡的用途也是非常广泛,主要应用于电子、信息、电器、化工、冶金、建材、机械、食品包装等行业。
在一些电子产品领域中,作为外观件,既要求有金属感,又不能起信号屏蔽作用。由于锡为金属材料,有良好的导电性能,在通常的状态下,很容易对信号起屏蔽作用。
发明内容
有鉴于此,本发明的目的在于提供一种稳定的不连续蒸发镀锡方法,在确保产品外观具有良好金属质感和符合相关性能要求的基础上,完成品具有不导电性能,使得信号能够顺利穿透。
为了实现上述的目的,本发明提供如下技术方案:
一种稳定的不连续蒸发镀锡方法,包括下述步骤:
(1)将待处理的产品安装到转盘的角棒支架上;
(2)在A电极的正负电极间安装锡材料蒸发网;
(3)抽真空至4×10-2Pa,通氩气至1×10-1Pa时,打开射频(RF)电源设定功率为1000W,90s持续进行放电,关闭射频电源,通氩气至4×10-2Pa,打开蒸着切替开关,电极电压设定至45V,蒸发时间为50s,进行镀膜,蒸着完毕后,关闭蒸着切替开关,通大气,完成整个蒸着过程。
优选的,步骤(1)中,待处理的产品安装在角棒支架上的高度范围为800±50mm。
优选的,步骤(2)中,锡材料单重为0.09±0.001g/粒,每个蒸发网放置1粒锡材料。
进一步的,蒸发网使用70次进行更新,锡材料每锅需要重新投入。
与现有技术相比,本发明提供的稳定的不连续蒸发镀锡方法,完成品具有不导电性能,使信号能够顺利穿透;在工艺上为物理反应,能够排除会引起环境问题的物质,确保环境的安全。
附图说明
为了更清楚地说明本发明的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的有关本发明的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明的蒸发镀锡用圆盘的立体结构示意图;
图2是本发明的蒸发镀锡用圆盘的俯视结构示意图;
图3是本发明的蒸发镀锡用圆盘的电极上蒸发网排列示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行详细的描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
1.产品安装
如图1所示,圆盘的转盘2上的角棒支架3共有16个位置,每个位置安装的产品高度范围为:800±50mm。当产品的数量不够时用替代治具进行补充。
2.材料投入
如图2所示,在A电极的正负电极5和6间安装锡材料蒸发网4,蒸发网4的安装位置如图3所示,A电极的左右蒸发网4都按照如此排列安装,数量各为17个,总共34个。蒸发材料为锡,单重:0.09±0.001g/粒,每个蒸发网4上放置1粒蒸发材料。
3.设备参数的设定及运行
抽真空至4×10-2Pa,通氩气至1×10-1Pa时,打开RF电源进行放电作业,RF电源功率设定为1000W,时间为90s。时间到后,马上关闭RF电源。开始通氩气至4×10-2Pa,打开蒸着切替开关,进行镀膜作业,电极1电压设定至45V,蒸发时间为50s。蒸着完毕后,关闭蒸着切替开关。通大气,完成整个蒸着过程。
RF放电作用是将氩气离子化,清洗了产品表面,增加了金属在产品表面的附着力。
4.材料的使用次数
蒸发网使用70次进行更新,锡材料每锅需要重新投入。
5.膜厚检测
每锅蒸着时,在同一个角棒支架3的上、中、下三个位置,各放置一片玻璃。蒸着完毕后,使用TM200透光仪进行透光确认,透光度控制在10%~20%之间为合格。
6.导通测定
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