[发明专利]一种稳定的不连续蒸发镀锡方法在审
| 申请号： | 201510654233.8 | 申请日： | 2015-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN105296939A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 王寒骁;席锦华 | 申请（专利权）人： | 江苏新思达电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215500 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 稳定 连续 蒸发 镀锡 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种稳定的不连续蒸发镀锡方法，其特征在于，包括下述步骤：
(1)将待处理的产品安装到转盘的角棒支架上；
(2)在A电极的正负电极间安装锡材料蒸发网；
(3)抽真空至4×10-2Pa，通氩气至1×10-1Pa时，打开射频电源设定功率为1000W，90s持续进行放电，关闭射频电源，通氩气至4×10-2Pa，打开蒸着切替开关，电极电压设定至45V，蒸发时间为50s，进行镀膜，蒸着完毕后，关闭蒸着切替开关，通大气，完成整个蒸着过程。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤(1)中，待处理的产品安装在角棒支架上的高度范围为800±50mm。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤(2)中，锡材料单重为0.09±0.001g/粒，每个蒸发网放置1粒锡材料。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于：蒸发网使用70次进行更新，锡材料每锅需要重新投入。
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