[发明专利]SEM下微纳操作的探针轨迹规划及跟踪方法

权利要求书

1.SEM下微纳操作的探针轨迹规划及跟踪方法，其特征在是：采用五次函数规划方法对已取关键点的轨迹进行规划，并设计基于前馈和反馈联合控制的轨迹跟踪方法，确保轨迹规划的精度和轨迹跟踪的准确度。

2.根据权利要求1所述探针轨迹规划及跟踪方法，五次函数规划方法特征是：根据Attocube间相对平动位移角及其与样本平台旋转角与时间的函数求出探针针尖在关键路径点的Attocube相对角变量，采用相对角度和旋转角度变化值插值计算生成角度变化轨迹的时间函数，采用分段轨迹规划方法，基于一定约束条件建立五次函数轨迹规划方法，确保轨迹规划的精度。

3.根据权利要求1所述的探针轨迹规划及跟踪方法，设计基于前馈和反馈联合控制的轨迹跟踪的特征是：使用跟踪误差函数，分析Attocube参数不确定系统的误差函数，通过线性矩阵数学计算最优逆矩阵，基于控制理论设计前馈控制器，基于前馈控制器的影响，结合权函数设计反馈控制器传递函数，将设计好的前馈控制器和反馈控制器进行联合控制，并调整参数，确定最优轨迹跟踪参数。

4.根据权利要求1所述的探针轨迹规划及跟踪方法，跟踪规划轨迹的特征是：假定探针从起点到终点的四个关键点的姿态，应用matlab软件使用五次函数对假设的四个关键点进行轨迹规划，使用前馈和反馈联合控制对已规划轨迹分别在X和Y方向进行跟踪验证。