[发明专利]一种具有背面对准功能的无掩膜直写光刻机吸盘结构

权利要求书

1.一种具有背面对准功能的无掩膜直写光刻机吸盘结构，包括上吸盘（1）和下吸盘（2），上吸盘（1）和下吸盘（2）两者固定安装，基板（22）吸附在上吸盘（1）的正面上，其特征在于：

所述的上吸盘（1）的背面开设有左安装槽（24）和右安装槽（25），左安装槽（24）和右安装槽（25）两者位于上吸盘（1）的同一条直径上且两者呈镜像对应，左图像采集组件（26）安装在左安装槽（24）内，右图像采集组件（27）安装在右安装槽（25）内，左图像采集组件（26）和右图像采集组件（27）两者结构相同；

上吸盘（1）上分别设有通光孔A（31）、通光孔B（32）、通光孔C（33）和通光孔D（34），通光孔A（31）和通光孔B（32）分别位于左图像采集组件（26）的两个反射棱镜的上方，通光孔C（33）和通光孔D（34）分别位于右图像采集组件（27）的两个反射棱镜的上方，通光孔B（32）和通光孔C（33）分别与基板（22）的两个参考标记（4）相对应，通光孔A（31）和通光孔D（34）均位于基板（22）的外围。

2.根据权利要求1所述的一种具有背面对准功能的无掩膜直写光刻机吸盘结构，其特征在于：所述的左图像采集组件（26）包括基座（28），基座（28）安装在左安装槽（24）内，基座（28）上依次安装有反射棱镜A（18）、光学成像通道（16）和反射棱镜B（14），反射棱镜A（18）、光学成像通道（16）和反射棱镜B（14）三者在同一条直线上，反射棱镜A（18）和反射棱镜B（14）两者呈镜像对应。

3.根据权利要求1所述的一种具有背面对准功能的无掩膜直写光刻机吸盘结构，其特征在于：所述的上吸盘（1）上设有开口槽（11）。

4.根据权利要求1所述的一种具有背面对准功能的无掩膜直写光刻机吸盘结构，其特征在于：所述的上吸盘（1）和下吸盘（2）均覆有黑色氧化膜。