[发明专利]用于测量嵌入式微小型工件切削量的精密测量方法和装置

权利要求书

1.一种用于测量嵌入式微小型工件切削量的精密测量方法，其特征在于包括下列步骤

(1)把镶嵌有未加工的被测工件的工件衬底和主电容位移传感器并排安装在移动平台a上的移动板上；

(2)旋动移动平台a的调节螺杆a将被测工件与一个球形基底接触，并测出主电容位移传感器与一个移动块的距离S₁；

(3)从移动平台a上的移动板上取下被测工件，加工被测工件，去除一定的厚度；

(4)把带有已加工的被测工件的工件衬底重新安装在移动板上，并再次旋动移动平台a的调节螺杆a；

①若被测工件先与测量触板上的球形基底接触，且主电容位移传感器尚未与移动块接触，即△R≤S₁，则工件的切削量为：

△R＝S₁-S₂

其中，S₂为此时主电容位移传感器与移动块的距离；

②若主电容位移传感器先与移动块接触，而被测工件尚未与测量触板上的球形基底接触，即△R>S₁，则工件的切削量为：

△R＝S₁+S₃-S₄

其中，S₃为预先测出的副电容位移传感器和移动块的距离，S₄为把移动块向副电容位移传感器移动一定的距离后，旋动移动平台a的调节螺杆a，直到被测工件与球形基底接触时，副电容位移传感器和移动块之间的距离。

2.一种用于测量嵌入式微小型工件切削量的精密测量装置，其特征在于：主间距调节单元、滑块调节单元与副间距调节单元均安装在底板上，其中：

所述主间距调节单元的结构是：固定底座a安装在底板上，调节螺杆a安装在固定底座a上，移动支座a安装在固定底座a上、且与固定底座a滑动连接，并能用调节螺杆a调节移动支座a与固定底座a之间的距离，移动板通过紧定螺钉一安装在移动支座a上，工件衬底通过紧定螺钉二与固定底座a固定连接，被测工件嵌入安装在工件衬底中，主电容位移传感器穿过移动板上的一个孔与工件衬底并排安装在移动板上，导向支架a通过紧定螺钉三安装在移动板上，导向支架a上开有正方形孔，正方型导柱a穿入该孔中，主电容位移传感器与正方型导柱a连接为一整体，导线一从正方形导柱中引出，微调旋钮a与主电容位移传感器螺纹连接，并位于导向支架a与移动板之间，紧定螺钉四用于主电容位移传感器的轴向固定；

所述滑块调节单元的结构是：测量触板安装在底板上，钢珠嵌入安装在测量触板上，移动块安装在测量触板的孔中，并沿该孔轴向移动，调节螺钉六与移动块的突出部分螺纹连接，挡块通过紧定螺钉五安装在测量触板上，调节螺钉六的螺帽由挡块和测量触板上的小凸台轴向限位，微调旋钮c安装在调节螺钉六的端部，并由螺母一和螺母二进行双面固定；

所述副间距调节单元的结构是：固定底座b安装在底板上，调节螺杆b安装在固定底座b上，移动支座b安装在固定底座b上、并与固定底座b滑动连接，缸体通过紧定螺钉九安装在移动支座b的孔中，圆柱形活塞安装在缸体中，圆柱形活塞的末端被削去一部分以安装副电容位移传感器的位移微调机构，副电容位移传感器位于圆柱形活塞的末端孔内，导向支架b通过紧定螺钉八安装于圆柱形活塞的末端削去部分内，副电容位移传感器与正方型导柱b连接为一整体，导线二从正方形导柱b中引出，微调旋钮b与电容位移传感器的螺纹部分旋合，并位于导向支架b与圆柱形活塞之间，旋转微调旋钮b、副电容位移传感器可沿其轴向移动，紧定螺钉七用于副电容位移传感器的轴向固定。